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Nano 3D Technology (Shanghai) Co., Ltd. Nanoscribe
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ナノモチモチ3次元Nanoscribe:全シーンカバーの3次元マイクロナノ加工ソリューション
日付:2025-10-31読み:0
光子集積、生物医療、MEMS製造などの分野におけるマイクロナノ技術の深い浸透に伴い、異なる業界は三次元マイクロナノ構造の精度、材料互換性及び加工効率に対して差異化の需要を提出している。ナノモチモチ三次元Nanoscribe依託専_利2 GL® 二光子階調リソグラフィ技術は、「科学研究革新-工業量産」の全リンクをカバーする三次元マイクロナノ加工ソリューションを構築し、「高精度+高柔軟性+多シーン適合」の核心的優位性で、各業界がマイクロナノ加工のボトルネックを突破する鍵となる選択となった。

微纳加工设备

光子パッケージの分野では、マイクロナノ3 Dプリント技術、特に二光子重合(2 PP)技術は、その高精度、真の三次元加工能力とマスク不要の利点をもって、光ファイバとチップ間の高効率、低損失の光結合に変革的なソリューションを提供している。

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総合的に見ると、納糯三次元Nanoscribeはこの分野で公認されている業界標準_ロッドである。その核心技術二光子階調リソグラフィ(2 GL®),二光子重合の精度と階調リソグラフィの効率を組み合わせて、光子パッケージにおける複雑な三次元マイクロナノ構造の製造に最適である。
一、技術路線の選択
1、二光子重合2 PP(フェムト秒レーザー直写):サブミクロン―ミクロン級自由形状三次元構造に面し、極_高い設計自由度を備え、複雑な微光学、マイクロ機械、マイクロ流体制御と生物ステントなどに適合する、複雑な基板上に直接成形でき、多材料と複合技術をサポートする。
2、二光子階調リソグラフィ2 GL:同じワークフローの中で2.5 D/3 Dを両立し、「ボクセル」強度の精密変調を通じて表面の超平滑と屈折率/形態の一体化制御を得て、高数値開口微光学、勾配屈折率デバイスと高精度金型マスターに適している。
3、フェムト秒レーザーの「二合一」複合戦略:同じプラットフォームで非対称二光子重合(異方性ヒドロゲル関節の構築)とその場レーザー還元堆積銀ナノ粒子(光熱駆動とセンシング機能の付与)を結合し、多関節マイクロロボット、再構成可能変形デバイスなどの活性マイクロシステムに用いる。
4、光ファイバ/チップへの直接印刷:傾斜補正と多自由度アラインメントを提供し、光ファイバ端面SERSプローブ、導波路-微光学の混合集積、及びチップ内の3 D微細構造の増材製造を実現し、パッケージとアラインメントコストを著しく低減する。
5、ウェハレベルのバッチと自動化:6インチウェハのバッチ加工に向けて、自動樹脂分配、マルチユーザープロセスと遠隔監視をサポートし、高速原型と小バッチ生産需要を両立する。