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ミニ縦型管式炉の維持管理のポイント
日付:2025-09-19読み:1

ミニオープンマイクロたてがたかんがたろその炉管の直径はφ30/50 mmであり、試料を真空または雰囲気保護環境下で弔焼し、焼入れするのに適している。異なる部品と装置を組み合わせて使用すれば、流動化床立式管式炉としても使用でき、粉末表面堆積のCVD実験に特化することができ、その際、高純度石英炉管内部に石英砂芯が埋め込まれ、その孔径は5 ~ 15 um内である。焼結された粉末は砂芯層上に置かれ、炉管の下端フランジからガスが流入し、砂芯層を通じてサンプル粒子を気流に導かれて加熱領域に懸濁させ(一般的には恒温領域内で安定している)、堆積実験を行った。

維持管理のポイント:
加熱素子のメンテナンス
鄒定期検査:毎月目視でヒータワイヤ(シリコンモリブデン棒/抵抗ワイヤ)が酸化、破断または局所溶融しているかどうかを検査し、四半期ごとに配線端子を締め付ける。
鄒交換基準:加熱ワイヤ直径が20%を超えて縮小したり、抵抗値が±10%を超えて変化したりする場合、直ちに交換する必要がある。
鄒延長寿命:酸化層またはガス保護措置(例えば窒素ガス)を増加することにより酸化損失を減少することができる鄒。
炉管の清掃と気密性:
鄒物理洗浄鄒:毎回実験後に掃除機或いは圧縮空気を用いて炉管内の残留粉末を除去し、高温炭化腐食を避ける。
鄒化学洗浄:炭素堆積に対して10%希塩酸で2時間浸漬する(炉管材質の互換性を確認する必要がある)鄒。
‌気密性検査‌:毎月石鹸水法でインタフェース漏れを検査し、四半期ごとに真空度をテストする(10平方キロメートル未満のPaはシールリングを交換する必要がある)。
安全防護と構造検査
‌超温保護‌:超温警報と停電機能が正常であることを確保し、加熱素子の過熱損傷を避ける。
鄒炉身体検査:定期的に外殻の亀裂、絶縁層の老化状況を観察し、高温による安全事故を防止する。
真空と雰囲気システムのメンテナンス
真空ポンプのメンテナンス:定期的に真空ポンプ油を交換し、管路を洗浄し、白色沈殿物の詰まりを避ける。
鄒シールリングの交換鄒:耐温シリカゲルリングの老化は真空度不足を招き、適時に交換する必要がある。