光学スリット

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概要

光学スリット（NRA）は4つの独立制御羽根を備え、互いに矩形を呈し、圧電制御羽根が移動し、矩形開口寸法と位置の正確な位置決めを実現する。この製品は大気、高真空、超高真空バージョンを提供している。

製品詳細

光学スリット（NRA）4つの独立制御羽根を備え、互いに矩形を呈し、圧電制御羽根が移動し、矩形開口寸法と位置の正確な位置決めを実現する。この製品は大気、高真空、超高真空バージョンを提供している。

NRA-10-10

NRA-10-10光学スリット4つの独立して制御されたブレードは、互いに矩形であり、各ブレードを移動することにより、0 ~ 10 mmの範囲で矩形開口の大きさと位置を正確に制御することができる。

概観
最大開口寸法[mm]	10x10
外形寸法[mm]	63×63×19
重量[g]	160
定位性能
閉ループ最大速度[mm/s]	>5
閉ループ位置決め分解能[nm]	<2
一方向繰り返し位置決め精度[nm]	±50
オプション
材質	アルミニウムベースとして標準装備されている、鋼座（-ST）、チタン基（-TI）を選択的に配置することができ、均黒陽極酸化（−BK）
真空互換性（HV）	1E〜6 mbar
高真空兼容 (UHV)	1E-10 mbar
無磁性	必要に応じてカスタマイズ可能

*すべての技術仕様パラメータは近似値であり、製品の開発が継続しているため、予告なく技術仕様を変更する権利を保持しています。

NRA-20-20

NRA−20−20の4つの独立した制御羽根は、互いに矩形をなしており、各羽根を移動することにより、0〜20 mmの範囲で矩形開口の大きさと位置を正確に制御することができる。

概観
最大開口寸法[mm]	20x20
外形寸法[mm]	85×85×19
重量[g]	270
定位性能
閉ループ最大速度[mm/s]	>5
閉ループ位置決め分解能[nm]	<2
一方向繰り返し位置決め精度[nm]	±50
オプション
材質	アルミニウムベースとして標準装備されている、鋼座（-ST）、チタン基（-TI）を選択的に配置することができ、均黒陽極酸化（−BK）
真空互換性（HV）	1E〜6 mbar
高真空兼容 (UHV)	1E-10 mbar
無磁性	必要に応じてカスタマイズ可能

*すべての技術仕様パラメータは近似値であり、製品の開発が継続しているため、予告なく技術仕様を変更する権利を保持しています。

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