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光学スリット

ネゴシエーション可能更新01/29
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概要

光学スリット(NRA)は4つの独立制御羽根を備え、互いに矩形を呈し、圧電制御羽根が移動し、矩形開口寸法と位置の正確な位置決めを実現する。この製品は大気、高真空、超高真空バージョンを提供している。

製品詳細

光学スリット(NRA)4つの独立制御羽根を備え、互いに矩形を呈し、圧電制御羽根が移動し、矩形開口寸法と位置の正確な位置決めを実現する。この製品は大気、高真空、超高真空バージョンを提供している。


NRA-10-10

光学狭缝

NRA-10-10光学スリット4つの独立して制御されたブレードは、互いに矩形であり、各ブレードを移動することにより、0 ~ 10 mmの範囲で矩形開口の大きさと位置を正確に制御することができる。
概観
最大開口寸法[mm] 10x10
外形寸法[mm] 63×63×19
重量[g] 160
定位性能
閉ループ最大速度[mm/s] >5
閉ループ位置決め分解能[nm] <2
一方向繰り返し位置決め精度[nm] ±50
オプション
材質 アルミニウムベースとして標準装備されている、鋼座(-ST)、チタン基(-TI)を選択的に配置することができ、均黒陽極酸化(−BK)
真空互換性(HV) 1E〜6 mbar
高真空兼容 (UHV) 1E-10 mbar
無磁性 必要に応じてカスタマイズ可能

*すべての技術仕様パラメータは近似値であり、製品の開発が継続しているため、予告なく技術仕様を変更する権利を保持しています。

NRA-20-20

光学狭缝

NRA−20−20の4つの独立した制御羽根は、互いに矩形をなしており、各羽根を移動することにより、0〜20 mmの範囲で矩形開口の大きさと位置を正確に制御することができる。

概観
最大開口寸法[mm] 20x20
外形寸法[mm] 85×85×19
重量[g] 270
定位性能
閉ループ最大速度[mm/s] >5
閉ループ位置決め分解能[nm] <2
一方向繰り返し位置決め精度[nm] ±50
オプション
材質 アルミニウムベースとして標準装備されている、鋼座(-ST)、チタン基(-TI)を選択的に配置することができ、均黒陽極酸化(−BK)
真空互換性(HV) 1E〜6 mbar
高真空兼容 (UHV) 1E-10 mbar
無磁性 必要に応じてカスタマイズ可能
*すべての技術仕様パラメータは近似値であり、製品の開発が継続しているため、予告なく技術仕様を変更する権利を保持しています。