HF-5-20型

交渉可能更新01/29

オンラインコンサルト

概要

概観自由度1ストローク[mm]20揚力[N]5初期寸法[mm]80 x 25 x 61重量[g]275位置決め性能開環速度[mm/s]2開環位置決め解像度[nm]閉環位置決め解像度[nm]2閉環再位置決め精度[nm]60オプションマテリアルアルミニウムベースとして標準装備

製品詳細

概観
じゆうど	1
ストローク[mm]	20
揚力【N】	5
初期寸法[mm]	80×25×61
重量[g]	275
定位性能
開ループ速度[mm/s]	2
開ループ位置決め分解能[nm]	<1
閉ループ位置決め分解能[nm]	2
閉ループ再位置決め精度[nm]	±60
オプション
材質	アルミニウムベースとして標準装備されている、鋼座（-ST）、チタン基（-TI）を選択的に配置することができ、均黒陽極酸化（−BK）
真空互換性（HV）	1E〜6 mbar
高真空兼容 (UHV)	1E-10 mbar
無磁性	必要に応じてカスタマイズ可能

*すべての技術仕様パラメータは近似値であり、製品の開発が継続しているため、予告なく技術仕様を変更する権利を保持しています。