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深セン市江麦知能科学技術有限公司
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深セン市江麦知能科学技術有限公司

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分子ポンプユニット

交渉可能更新02/09
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
分子ポンプグループは主に真空めっき、半導体、電子、加速器技術、プラズマ技術、物理化学実験室、電気真空デバイス製造及び真空の各分野に用いられる。
製品詳細

分子ポンプユニット特徴:

★真空度読み取り機能、一体化設計

★コンパクトでコンパクトな構造で、置き運搬に便利

★システム内蔵破空電磁弁

★限界真空度10-8 mbar

★プラグアンドプレイ設計で簡単なワンタッチ操作が可能


用途:

分子ポンプユニット主に真空めっき、半導体、電子、加速器技術、プラズマ技術、物理化学実験室、電気真空デバイス製造及び真空の各分野に用いられる。江麦の真空プローブ台、真空封管機など真空環境を必要とする設備と併用することができる。


製品仕様パラメータ:

モデル

TP22-90型

せいぎょモード

ワンクリック起動

ぶんしポンプ

TURBOVAC 90i

分子ポンプのポンプ速度

90L/S

前段ポンプ

バイポーラロータオイルポンプ(オプション:フローティングスクロービングポンプ1.2 m 3/h)

前段ポンプの抽気速度

2m3/h

ふくごうしんくうけい

PTR 90(大気中5*10-7 Pa)

げんかいしんくうど

10-8パ

くうきぬきつぎて

KF40(オプションKF25、KF16)

れいきゃくほうしき

ふうれい

システム漏れ率

1*10-10Pa.m3/s

電源

220V 50HZ

外形寸法

400*340*260(長さ*高さ*奥行き)(単位mm)

重量

18キロ






















機器使用保守と故障診断

機器の取り付け、操作時に衝突を避けるべきで、機体の配置は平坦でなければならず、傾斜や横倒しをしてはならず、機器の故障や異常異音を避ける。


機器の使用とメンテナンス

n機器を輸送する場合は、まず電源コードのプラグを抜いてください。

n計器輸送は専用の包装箱を使用し、プローブ台の任意の運動部品に接触しないようにしなければならない。

n使用後は清掃に注意し、できるだけ塵をきれいに吹き付け、塵が機械精密部品、光学部品、電気接触面を汚染し、機器の精度を低下させないようにする。

n機器本体を清掃する際、直接水をかけて清掃することを避け、塵のない布で軽く拭いて乾かせばよく、故障や危険が発生しないように硬質物で機械に接触することはできない。

n計器ディスプレイ部品を清掃する時、レンズ紙に水を含まないアルコールをつけて中間から外に向かって軽く拭くことができる。水を含まないアルコールは燃えやすいもので、安全に使用するように注意してください。

n停電や長期間使用しない、外出する場合は、電源コードのプラグを抜いて機械の寿命を維持してください。

nオペレータはデータの正確さと機器の正常な使用を保証するために、要求に厳格に操作しなければならない。



一般的なトラブルシューティング

本機器を使用していると、いくつかの問題が発生する可能性があります。次の表に、一般的な障害と解決方法を示します。


症状

可能な理由

解決策

メインスイッチモニタをオンにしても表示されない

外付け電源無電圧入力

電源スイッチが破損している

電源ケーブルを確認する

電源スイッチを交換してください

真空度が悪い

真空ポンプ損傷

真空ポンプの点検

システムにリークがある

システムの漏れを点検し、部品を交換する

真空計が汚染される

システムをシャットダウンし、メーカーに修理を依頼する

管路やキャビティが汚染されている

クリーンラインまたはキャビティ内面

キーを押しても無効です

操作が不適切で、システム内部に安全なインターロックが存在する

操作に誤りがないかチェックする

キーの破損またはワイヤの緩み

回線がゆるんでいないか、ボタンが壊れていないかを検査し、メーカーに連絡してから

前段ポンプ異音

破空バルブが閉まっていない

破真空電磁弁が閉まっているかどうかをチェックする

メカニカルポンプが破損している

システムをシャットダウンし、メーカーに修理を依頼する

分子ポンプ異音

ポンプ本体内部に異物が存在する

システムの電源を切り、分子ポンプを停止状態にし、フランジを外して異物を取り出す、損傷状況を点検し、メーカーに連絡する

分子ポンプ軸受損傷

システムをシャットダウンし、メーカーに連絡する