蔡司Sigmaシリーズ製品

蔡司Sigmaシリーズ製品電界放出走査電子顕微鏡（FE−SEM）技術を良好なユーザ体験と緊密に結合した。Sigmaの直感的なワークフローを利用することで、イメージングと分析プログラムを容易に実現し、作業効率を向上させることができます。より短い時間でより多くのデータを収集できます。高解像度イメージングにおいて、低電圧を用いて、1 kV以下の電圧でより良い解像度とコントラストを得る。異なる検出器の選択に合わせて、Sigmaは広くあなたの応用に適しています：開発中の新しい材料、品質検査のための粒子、生物または地質標本にかかわらず、この電子顕微鏡はあなたに各種のサンプルを研究するのに役立ちます。極*条件下では、可変圧力（VP）イメージングを用いて、NanoVPliteを用いて、低電圧下でも、非導体上で優れた画像と分析結果を得ることができる。

蔡司Sigmaシリーズ製品信頼性の高いナノ分析体験をお届けします。Sigma 360は直感的な電界放出走査電子顕微鏡（FE−SEM）であり、分析試験プラットフォームはイメージングと分析に使用できる。優れたEDS幾何学設計、高フラックス分析を提供し、自動その場実験を実現することができる。

いずれのサンプルでも、正確で再現可能な分析結果を得ることができます。低電圧で敏感な試料からより豊富な画像情報を取得する。

現在の走査電子顕微鏡の応用には、低着陸エネルギー（低電圧または低加速電圧と呼ばれる）における高分解能画像形成を標準とする必要がある。これは、電子ビームに敏感または非導電性の試料を研究する上で極めて重要であるためである。これにより、サンプルのより深い背景信号に邪魔されることなく、実際のサンプル表面情報を得ることができます。Geminiの電子銃とプローブシステムは最適化され、低電圧と超低電圧条件下での高分解能イメージングを実現し、コントラストを高めることができる。走査電子顕微鏡では、試料に伝達されるエネルギーが少ないため、低加速電圧の入射電子ビームが電子ビームに敏感な試料のイメージングに使用される。同時に、低エネルギー量の電子ビームはサンプルに対する浸透力がよくない。これにより、敏感なサンプル上のアーティファクトのない表面の詳細を高解像度で撮影することができます。

低加速電圧イメージングの最適化

電子光学歪みは低電圧画像に多く見られる分解能損失を引き起こす。設計によれば、Gemini 1鏡筒の電子ビーム推進器技術は、優れた低加速電圧画像解像度を提供することができるようになった。最適化された開口および高分解能電子銃モードは、低加速電圧のイメージング効果をさらに最適化することができるようになった。

高分解能電子銃モード

高分解能電子銃モードでは、電子ビーム色収差が低下し、より小さなビームスポットが実現される。1 kV以下の電圧では、このモードは追加の画像解像度を提供することができる。集光レンズのデフォルト設定は、優れたイメージング条件（最適化された電子ビーム収束付き）です。高分解能を確保しながら、一連の電流を提供する最適な開口を選択することができます。追加のスポットライトミラーモードを使用して、画像の被写界深度を最適化することができます。

検出器

一般に、低入射電子ビーム電圧及び低電子ビームプローブビームストリームを用いて、感受性材料を高分解能イメージングすることができる。試料から励起された電子の検出に関わる場合、効率的なInlens SE検出器は高分解能を提供するだけでなく、プローブビームストリームが10 pA未満の場合にもコントラストを高めることができる。スマートスキャンプログラムのサポート（ドリフト補正フレーム平均など）により、高解像度でもサンプルの安定処理を保証することができる。

高電界放出走査電子顕微鏡

ZEISS GeminiSEMの優れたサンプル柔軟性電界放出走査電子顕微鏡を用いて未知を探索し、サブナノイメージング、分析、サンプル柔軟性の高い要求を満たす。このシステムは、低電圧、高速度、高プローブ電流条件下で優れた分解能を提供しながら、高スループット分析を実現することができる。高画質と多機能性高級イメージングモードの高効率検出、優れた分析25年以上にわたって改善された蔡司Gemini技術検出器は種類が多く、カバー範囲が広い。

このシステムは、低電圧、高速度、高プローブ電流条件下で優れた分解能を提供しながら、高スループット分析を実現することができる。その観察視野は広く、キャビティは極めて広く、大型サンプルでも容易に検出できる。

ZEISS GeminiSEMは2つの正反対のEDSポートと共平面EDS/EBSD構成を有し、効率的な化学成分と結晶方位特性評価を提供することができる。高速で影のないマッピングを信頼できます。

ワークフローのカスタマイズと自動実行：材料の技術的限界をテストする必要がある場合、蔡司は自動その場加熱と機械応力実験室を提供することができます。

応用分野一覧

機械、光学、電子部品の故障解析

破断解析と金相解析

表面、微細構造及びデバイス特性評価

成分と位相分布

不純物と介在物の測定