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メール
info.microscopy.cn@zeiss.com
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電話
13761758023
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住所
上海市浦東新区自由貿易区美約路60号
製品分類
カールツァイス（上海）管理有限公司
概要
蔡司二ビーム電子顕微鏡Crossbeam 550 Samplefabは、半導体業界のTEMサンプルの製造のために開発された集束イオンビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM）として、優れた柔軟性、自動化機能とユーザーフレンドリーな設計を提供し、半導体業界のサンプル製造をより簡便で効率的に支援する。
製品詳細
ツァイス二ビーム電子顕微鏡クロスビーム 550 サンプルファブ
[製品紹介]
ツァイス二ビーム電子顕微鏡クロスビーム 550 サンプルファブ，半導体業界のTEMサンプル製造のために開発された集束イオンビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM）として、優れた柔軟性、自動化機能とユーザーフレンドリーな設計を提供し、半導体業界のサンプル製造をより簡便で効率的に支援する。
[製品の特徴]
l 業界標準ソフトウェアインタフェース
l 最適な構成によりデバイスとソフトウェアの安定性を向上
l 全自動TEMサンプル作成体験
l その場（in-situ, リフトアウト）と非原位置（ex-situ, ピックアップ）柔軟で利用可能
l 高品質の自動および手動サンプリング
[応用分野]
電子と半導体業界、故障分析及びTEMサンプル調製。
【応用例】
それぞれ全自動非原位置（ex-situ, ピックアップ）とその場（in-situ, リフトアウト）サンプル TEMシートサンプル
手動で最終的に薄くした7nmプロセスプロセッサ、平面TEMはくへん
使用するクロスビーム内（うち）STEMプローブ撮影
