難易度インテリジェント国産質量流量コントローラ高精度MFC

――制御精度、重複性に対してより高い要求がある業界の関連顧客は好ましい

EC400型難易度インテリジェント国産質量流量コントローラ高精度MFCMFC製品に内蔵された圧力、温度センサーの正確な補償とコアアルゴリズムを通じて、低零点、温度、圧力ドリフト量に優れた性能を示した。堅牢な金属筐体は、製品を工業的に複雑な環境下で耐久性と強い抗電磁干渉性能を確保すると同時に、多種のガスと混合ガスの設置、デジタル式とアナログ式の通信方式を内蔵し、流量の正確な測定と制御を実現する。

レンジ範囲：0.5 sccm ~ 5000 slpm

特徴：

l原理：層流圧差式流量計

l高精度：±0.5%設定値精度

l高繰り返し性：±0.1%F.S.

l広い温度、広い圧力の適用範囲：-20℃~ 60℃、1 Mpa以内

l標準配置：デジタル信号RS 485、オプション：アナログ信号0-20 mAまたは0 ~ 5 V

l内蔵70種類のガスと混合ガスの測定

l上位機ソフトウェアのリアルタイム表示とダウンロードデータ情報を提供する

使用条件：

l内蔵70種類のガスと編集可能な混合ガスとの互換性

lバルブ種類：N/C（常閉型）

l作動流量範囲：1%~ 120%F.S.

l媒体温度：-20℃~ 60℃

l環境温度：-20℃~ 50℃

l使用湿度：0%~ 98%（凝縮なし）

l作動差圧範囲：100 kPa ~ 700 kPa

l作動圧力：1 Mpa

l耐圧：1.5 Mpa

l給電電圧：＋（19 ~ 29）VDC

l消費電流：＜150 mA（給電電圧24 vの場合）＜300 mA（＜5 V）

l取付方式：任意角度

l出入口：パイプねじ（雌ねじ）

lエアジョイント部材質：SUS 304、SUS 316 L

l接合部シール材質：ゴムリングシール：フッ素ゴム

シーンを適用

l光学、原子めっき装置における流体制御装置

l製造設備におけるフロー制御システムの集積とセット

lファインケミカルラインにおけるフロー制御装置

lバイオリアクタープラントにおける流体制御装置

lガス分配システム又は装置中の流体制御装置

l分析機器、科学機器中の流体制御装置

l自動化プラントにおける流体制御装置のカスタマイズ

EC400型難易度インテリジェント国産質量流量コントローラ高精度MFCMFC精度、再現性に対してより高い要求があるセットユーザーに適用する。