XENOSの応用例

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概要

XENOSは科学研究機関の測定実験室、航空、宇宙産業から光学工業まで、高い測定精度が要求されるさまざまな分野で使用することができる。このハイエンド測定機の測定精度は技術的限界に達し、その測定範囲は1立方メートル近くである。オプションプローブ： ......

製品詳細

XENOSの応用例

XENOSは科学研究機関の測定実験室、航空、宇宙産業から光学工業まで、高い測定精度が要求されるさまざまな分野で使用することができる。このハイエンド測定機の測定精度は技術的限界に達し、その測定範囲は1立方メートル近くである。

オプションプローブ：

ZEISS VAST ゴールド

オプションのソフトウェア：

ザイスカリプソギア PRO

製品詳細

革新的な機械設計

XENOSは新しい機械設計理念を採用している。標準ブリッジ測定機とは異なり、Yレールは側壁の頂部に分布し、分離式移動行程軸は横梁のみがY軸方向に移動し、より小さく、一定の移動重量である--移動式プラットフォームと比べて真の利点と言える。より低く、一定の移動重量により、加速と高速の完全な統一が可能になります。

すべての軸にリニア駆動を採用

XENOSのすべての軸はリニア駆動を採用している。その利点：高速、加速が極めて速く、位置決め精度が高く、駆動に剪断力の影響がない。超高解像度格子定規技術を組み合わせると、XENOSの線形駆動は高度な安定性と100ナノメートル未満の極めて高い位置決め精度を得ることができる。例えば、測定針のオフセット量が一定であればあるほど、より良い測定精度が得られる。サーフェスを測定する際には、測定針の移動経路が所定値に一致すればするほど、より優れた精度を実現できるというさらなる利点があります。

仮想中央駆動

XENOSはY軸方向に双線形駆動システムを備えており、蔡司の中央駆動技術のおかげで優れた同期制御を実現することができる。この技術はX軸位置に応じて駆動力を完全に分配することができる。制御システムとアルゴリズムの完璧な結合として、これは測定範囲全体で優れた測定精度と運動安定性を得る重要な要素である。

炭化ケイ素セラミックス

XENOSは精度に密接に関係する機械部品に革新的な炭化ケイ素セラミック材料を採用している。これまで、この材料は類似の製品や精度の測定機器で使用されたことがない。炭化ケイ素セラミックスの熱膨張性は通常のセラミックスに比べて約50%低下し、剛性は30%上昇し、同時に20%減少することができる。炭化ケイ素セラミックスの重量は鋼材に比べて50%減少したが、2倍の剛性が得られた。

強化VAST gold

XENOSは蔡司VAST gold測定プローブを用いた。研究開発の過程で、蔡司は測定精度と測定繰り返し度の面でこのプローブを最適化した。XENOSも新しい剛性接続を採用している。VAST goldプローブは、非対称型プローブを含む、800 mmまでの長さのプローブおよび500 gまでの重量のプローブと組み合わせて使用することができる。