プロフィール

Jordan Valley社新しいデザインのDelta-Xは、材料科学研究、プロセス開発、生産品質制御に活用できる多機能X線回折デバイスです。Delta-X回折計の光源台とプローブ台の光学素子は、自動制御し、水平式サンプルテーブルを採用する。Delta-X回折計は、従来の回折モード、高分解能回折モード、X線反射モードを柔軟に切り替えることができる。光学配置の切り替え完了メニュー形式のプログラム制御の下でコンピュータによって行われ、手動で操作する必要はありません。自動切り替えとコリメートには専門家やオペレータは必要ありません。また、切り替えのたびに適切な状態になることを確認しますの光学的コリメート状態を示す。

通常のサンプル測定はDelta-X回折計、部分的、ひいては完全なの自動運転、自動測定プログラムはお客様のニーズに合わせて特別にカスタマイズすることができます。採用済みの手動モード操作Delta-X回折計は、新しい測定方法を開発し、新しい材料システムを研究するために使用されます。

データ解析やフィッティングは測定プログラムの一部として実現可能自動化され、必要に応じて個別にデータ分析を行うこともできます。 半導体生産ラインの需要に応じて、RADSとREFSフィッティングソフトウェアは自動化モードで動作し、ユーザーの干渉なしに通常のデータ分析を自動的に完了し、データフィッティングと結果出力を直接完了することができます。RADSとREFSは、より詳細なデータ分析のために個別にインストールすることもできます。

Delta-X回折計は科学研究所と技術を満たすことができる

手術開発センター異なる材料系の方位テスト

需要。

Delta-X回折計の主な特徴と利点

nサンプルのアライメント、テスト、データ解析の自動化

nお客様自身で測定の自動化レベルを設定できます

n300 mmのオーラルリングブラケット（Eulerian Cradle）設計、高精度なサンプル位置決めとスキャン

n300mmのウェハを水平に配置し、完全にマッピング

n100ºのChi軸傾斜範囲、無制限範囲のPhi軸回転空間、極図と残留応力試験を実現できる

nインテリジェント化された光学構成の切り替えとコリメート。測定の必要に応じて、光学構成を自動的に選択し、光学コリメートを実施する

n工業界先のデバイス制御ソフトウェアとデータ解析ソフトウェア

n精密かつ正確な測定を保証するための高分解能角計

n高速測定を実現するための高強度の光源台設計と光学素子の組み合わせ

n多方面にわたる広範な試験技術と測定パラメータ

n所有者による超過30年の高解像度X線回折経験の世結クラスの専門家が設計、製造し、球顧客経験。

Delta-X回折計の特徴と利点

自動制御光学系:

Delta-X回折計の入射ビームには、光学構成に十分な柔軟性を持たせ、操作しやすいように、さまざまな標準的な光学構成モードが含まれています。測定試料の材料タイプに応じて、基準結晶を選択することができる。

n標準モード：すべてのシステム用、平行ビーム多層膜高反射鏡

n他の4つの光学系は、次のように選択してインストールできます。

nブレンターノ鏡 （Johannson光学素子）

nブレンターノ鏡 （Johannson光学素子）と参照結晶（二次反射）

n2つの独立した参照結晶（二次反射）：基準結晶の材料タイプと分解能には、提供と測定のための複数の設計があります。 一致する解像度。

n2つの参照結晶、Bartelsモードのインストール

n参照結晶と高反射鏡の両方を自動切り替え可能

n基準結晶と高反射鏡を回折計から手動で取り出す必要はなく、光学素子が損傷されず、コリメート状態から逸脱しないことを保証する。

n回折計の初期コリメートは操作しやすく、アンペア 信頼性があり、デバイス内でオンにする必要がないX線操作。