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アドレス
北京市朝陽区酒仙橋路14号メガビル6階616室
北京亜科晨旭科技有限公司
概要
Trymaxは現在、半自動、全自動シリーズの設備をユーザーの選択に供することを持っており、現在すでに百台以上の設備が世界各地に設置されており、MEMSマイクロメカニカル電気システム、マイクロ流体デバイス、SOI基板製造、先進パッケージ、化合物半導体デバイス、パワーデバイス、光電表示などの分野に広く応用されている。
製品詳細
一、設備作業原理
プラズマは物質の一種の存在状態であり、この状態には高速運動状態にある電子、活性化状態にある中性原子、分子、原子団（ラジカル）、イオン化した原子、分子、未反応の分子、原子などであるが、物質は全体的に電気中性状態を維持している。
Trymax NEO Seriesは、これらの活性成分の性質を利用してサンプル表面を処理し、無線周波数/マイクロ波電源によって一定の真空条件下で輝起して高エネルギーの無秩序なプラズマを生成し、プラズマによって洗浄された製品表面を爆撃することによって、洗浄、改質、レジスト灰化などの目的を実現する。
二、Trymax ニオ シリーズ 応用いる
前道：光 エッチングスラグ除去 ストリップPR Ashing；イオン注入後、フォトリソグラフィ後、めっき前などのプロセス、バックトラック/先進パッケージ/3 D IC：Descum ゆれるマイコン電気システムプラズマ 治療チップ Cleaningなど。
DispenseMate®システムが提供するディスペンサー制御技術は北方ASYMTEK閉ループ制御を含む高度なオンラインディスペンサーシステム直流サーボ運動制御システム、ジェット機-飛んでいるスプレーディスペンサー機能とお客様向けの直感的なプログラミングFluidmove®ソフトウェア。
他の標準的な構成には、プログラム制御光源を備えた統合された機械高度検出器と、全自動認識可視システムが含まれています。また、標準構成には、プログラム可能な閉ループノズルと、プログラム設定を経て温度を監視し、データを記録する針加熱制御が含まれている。同時に、小点ディスペンサーを実現できる動的ディスペンサー制御も含まれている。
オフライン MFC/CPJはいD-593型の標準性能、 ユーザーの数値範囲内でサンプルを計量し、手動で測定値を入力することによりFluidmoveで自動流量計算を実現します。
Fluidmoveのプログラミングプログラムは上位互換性があり、他のプログラムに簡単に移行することができますノシンASYMTEKを含むオンラインシステムスペクトルII商標和Quantum®ディスペンサー・プラットフォーム
さらに、Fluidmoveソフトウェアの提供とうけいてきプロセスせいぎょプロセス・プロセスのペギングおよびオプションのデータ・ログけいさんきえんようせっけいインポートします。
大量生産から大規模生産まで、ユーザーは常にノシンASYMTEK世界中に広がる経験豊富なエンジニアリング、アプリケーションの発展、技術サービスネットワークのサポート。
Trymax先進的なプラズマアッシングとエッチングNEO300A/NEO200Aシリーズプラットフォーム
NEO300AシリーズプラットフォームとはTrymax半導体装置業界 のニオシリーズの先進的なプラズマアッシングとエッチング製品の 新しいメンバーの1人。
既存の任意の構成が可能な全自動シングルルームシステムTrymax NEOプロセスモジュール、および直径300mmの基板互換性があります。ちいさな敷地NEO300A1つのマウントポートが構成されています。
•特徴
- 大300ミリウエハ寸法/基板サイズ
-きょうりょうこうぐのうりょく200-300mm
-単独SMIFマウントポート
-3軸双腕ロボット処理
-4個の異なる処理モジュール：
•下流マイクロ波（2.45ギガヘルツ）
•無線周波数バイアス（13.56MHz）
•デュアルソース（マイクロ波、無線周波数バイアス）
•データ収集プラットフォーム（むせんしゅうはすうバイアス、直接結合プラズマ）
-優れた均一性と再現性
-機械的スループット> 100WPH
-コンパクトな足跡
-非常に低い所有コスト
- デジタル制御、設備網イーサネット
-ウィンドウベースの産業用コンピュータ
•アプリケーション
-バリアストリップ
-Descum処理
-ポリマーの除去
-高用量インプラントテープを郵送する
-窒化シリコンエッチング用途
-マイコン電気システムアプリケーション
-パッケージ加工（PR，円周率，BCB，りん酸塩系緩衝液）
NEO200AシリーズプラットフォームとはTrymax半導体装置業界 のニオ先進的なアッシングおよびエッチング製品のシリーズ 新しいメンバー。
既存の任意の構成が可能な全自動シングルルームシステムTrymax NEOプロセスモジュール、および直径200 mmの基板互換性があります。ちいさな敷地NEO200Aデュアルカートリッジが構成されています。
•特徴
- 大200 mmウェハサイズ/基板サイズ
-デュアルボックスプラットフォーム
-3軸双腕ロボット処理
-4個の異なる処理モジュール：
•下流マイクロ波（2.45ギガヘルツ）
•無線周波数バイアス（13.56MHz）
•デュアルソース（マイクロ波、無線周波数バイアス）
•データ収集プラットフォーム（むせんしゅうはすうバイアス、直接結合プラズマ）
-優れた均一性と再現性
-機械的スループット> 100WPH
-コンパクトな足跡
-非常に低い所有コスト
- デジタル制御、設備網イーサネット
-ウィンドウベースの産業用コンピュータ
•アプリケーション
-バリアストリップ
-Descum処理
-ポリマーの除去
-高用量インプラントテープを郵送する
-窒化シリコンエッチング用途
-マイコン電気システムアプリケーション
-パッケージ加工（PR，円周率，BCB，りん酸塩系緩衝液）
Trymax半導体装置のNEO200シリーズ先進プラズマアッシング/エッチングシステムは 新しいフォトレジストとエッチング設備を驚くべき価格で提供 のパフォーマンスを確認します。専用 大200 mm基板を応用して設計する。
処理用に構成可能な柔軟なマウントステーションを備えている 大200 mmのすべての異なるサイズの基板を使用します。
NEO200シリーズは研究と設備メーカーのコンパクト設計のすべての要件を統合し、実現可能 低い所有コスト。
•特徴
- 大200 mmウェハサイズ/基板サイズ
-半自動ウェハ伝送のための単一のロードプラットフォーム。
-4個の異なる処理モジュール：
•下流マイクロ波（2.45ギガヘルツ）
•無線周波数バイアス（13.56MHz）
•デュアルソース（マイクロ波、無線周波数バイアス）
•データ収集プラットフォーム（むせんしゅうはすうバイアス、直接結合プラズマ）
-優れた均一性と再現性
-コンパクトな足跡
-非常に低い所有コスト
- デジタル制御、設備網イーサネット
-ウィンドウベースの産業用コンピュータ
•アプリケーション
-バリアストリップ
-Descum処理
-ポリマーの除去
-高用量インプラントテープを郵送する
-窒化シリコンエッチング用途
-マイコン電気システムアプリケーション
-パッケージ加工（PR，円周率，BCB，りん酸塩系緩衝液）
