威而信MMD-H 50粗さ計

評価パラメータ

評価パラメータ

Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2

測定範囲

Zじく

800μm

Xじく

50mm

直線度精度

直線度精度

0.4μm

解像度（Z軸）

解像度（Z軸）

0.001μm

サンプル数/ぶんかいエネルギー

サンプル数/ぶんかいエネルギー

9600点/16bit

フィルタ

フィルタ

ガウス(Gaussian)フィルタ（ISO11562:1996），2RCフィルタ

サンプリング長さ

サンプリング長さ

λc╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm）

カットオフ波長

カットオフ波長

0.25,0.8,2.5

そくていそくど

そくていそくど

0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s

もどりそくど

もどりそくど

（自動）1mm/s

ひょうじごさ

ひょうじごさ

±5%

しじあんていせい

しじあんていせい

3%

反復性の測定

反復性の測定

3%

パターン倍率

パターン倍率

10-500000自動調整

センサ

センサ

針の先R=2μmダイヤモンド1mN）

R=5μmダイヤモンド(そくていりょく4mN）