波長分散X線蛍光分光計

波長分散X線蛍光分光器WDA−3650薄膜評価に用い、同時に各種薄膜の薄膜厚と成分に対して無傷、非接触式分析を行った。

これは波長分散X蛍光分光器（WD-XRF）であり、非破壊的かつ非接触で200 mmの大きさのウエハ上の各種薄膜の厚さと組成を同時に分析することができる。XYθZ駆動試料台（方法）は、回折線の影響を回避するために、各種金属膜を精密に分析することができる。4 kWの高出力X線管は、BPSG薄膜の微量元素測定やホウ素分析など、超軽量元素の高精度分析を実現することができる。C-to-C輸送ロボットにも対応しています（オプション）。自動キャリブレーション（全自動毎日点検と強度補正機能）を搭載しています。

◆微量元素の濃度と成分分析をサポート

軽元素から重元素への各種元素：4 Yes ~ 92 U

◆高感度ホウ素検出器AD−ホウ素

我々は、分析の正確性と安定性を高めるためにホウ素分析能力を高めるなど、新しい光学系を開発し続けている。また、降温機構と真空度安定機構は安定した標準設備である。

◆X-Y-θ駆動段

X−Y−θ駆動試料台と測定方向設定プログラムは、ウエハ全体にわたって膜厚と成分分布を正確に測定することができる。強誘電体薄膜も回折ビームの影響を受けない。

◆適用：

・半導体装置BPSG，SiO 2テトラ3 N 4

・ドープ多結晶シリコン（B，P，N，AS），Wsix

・Al-Cu、TiW、TiN、TaN、PZT、BST、SBT

・MRAM

・金属膜W、Mo、Ti、Co、Ni、Al、Cu、Ir、Pt、Ru

・磁盘CoCrTa、CoCrPt、DLC

・NiP

・光磁気ディスクTb−FeCo

・磁気ヘッドGMR，TMR

◆広範な固定角計製品ラインナップ

膜厚と膜構造に応じて最適な固定角計を提供する。シリコンウエハ上のWsix薄膜を解析できる専用光学系も用意した。

◆全自動日常管理機能自動校正

正確な分析値を得るためには、計器を正確に校正しなければならない。そのためには、機器の健康状態を維持するために、管理ウェハとしてウェハとPHA調整ウェハを定期的に測定検査しなければならない。この通常のキャリブレーション作業は自動化され、オペレータの作業量が減少します。これがAutoCal機能です。

◆C-to-C自動搬送との互換性

オープンカセットのほか、SMIF PODにも対応しています。200 mm以下のウエハに対応しています。また、ホストとSECS通信を行い、さまざまなCIM/FAフォーマットに対応することもできます。

◆コンパクトで省電力設計

本体の敷地面積1 m 2以下のコンパクト設計。オイルレス変圧器の使用も補助設備をよりコンパクトにし、省エネ設計にした。

• 膜厚と組成の同時評価

• すべてのフィルムタイプに適用

• 200 mm未満のウェハとメディアディスクをサポート

• 高い解析性能、正確性、安定性

• 得られたXYθZ駆動サンプルテーブルは、正確なXRF結果を得ることができる

• 高感度ホウ素分析（ADホウ素チャネル付き）

• オプションのC-Cオートローダを使用した自動キャリブレーション

• オイルレストランスX線発生器

• 消費電力は以前のモデルより23%低い

製品仕様：