ウエハ搬送

ウエハ搬送FOUP（ロードポート）とFOSBが使用可能で、低コストの後期検査に適しています。安全で人間工学に適した設計により、オペレータがウェハを搬送する際の効率と安全を確保します。

人間工学設計、操作が便利

•自由に設置できる検査モードは、設計上、裏道工事における操作性を考慮し、特に設備の操作の簡便性を重視している。

•FOUP（ロードポート）とFOSBの2機種に対応。

ウエハ搬送堅牢、信頼性、安全な転送

•前世代モデルの堅牢性、信頼性、安全性を継続し、安全で信頼性の高い300 mmウエハの搬送を可能にした。

•ウェハ、Warpedウェハは安全に搬送できます。

•マクロ観察位置の*化と操作ユニットの集中配置により、設備の操作快適性を向上させる。

異物、傷、膜斑、デフォーカスの発見に理想的な照明方式を提供した

高輝度金属ハロゲン化物光源と光ファイバ照明の組み合わせにより、300 mmウエハの冷光源全面照射を実現した。