ウェハ加熱盤/モジュール（カスタム）

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モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

ウェハ加熱ディスク、ウェハ加熱モジュール（カスタマイズ）は半導体プロセスの過程で非常に重要で、特にいくつかの重要なプロセスの中で、例えばウェハのアニール、結合、均質ゲル、エッチング、蒸着など、それは安定した温度場環境と精密なディスク面の均一な温度を提供することができ、ウェハの様々な温度領域における加熱要求を確保し、それによって半導体装置の製造と研究開発を実現することができる。

製品詳細

ウェハ加熱システム、急速焼鈍炉、高低温試験箱などの温度制御技術、その場力学技術などに関連する製品は、顧客に個性的なカスタマイズを提供することができる。

果物計器ウェハ加熱モジュール：半導体プロセスの過程で非常に重要で、特にいくつかの重要なプロセスの中で、例えばウエハのアニーリング、結合、均質化、エッチング、蒸着など、それは安定した温度場環境と精密なディスク面の均一な温度を提供することができて、ウエハの各種温度領域における加熱要求を確保して、それによって半導体装置の製造と研究開発を実現することができます。

晶圆加热盘/模组（定制）

ウェハ加熱モジュール（カスタム）特徴：

•温度範囲：RT ~ 600℃

•温度安定性：±0.1℃

•材質：アルミニウム合金、ステンレス鋼、インバ合金など

•高精度な温度制御

•専門的な温度制御ソフトウェア

•カスタマイズをサポート

パラメータ:

モデル	ウェハ加熱モジュール（カスタム）
サイズ	2/4/6/8/10/12インチ
おんどはんい	RT〜600℃
おんどあんていせい	±0.1℃
材質	アルミニウム合金、ステンレス鋼、インバ合金等
平面度	≤10um，3 umまで到達可能、マテリアル関連
適用環境	雰囲気/真空
れいきゃくシステム	オプション：水冷、空冷など
けつごうあつりょく	オプション：0 ~ 100 kN

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