ウェハ接触角測定器

Theta Flowウエハウェハ接触角測定器ウエハの全自動接触角測定器である。この装置はTheta Flow光接触角測定器本体を含み、ソフトウェア制御、水平移動、ドロップヘッドを備えた4つの自動ドロップ器、および自動回転付き全自動XYZサンプル台を配置することができる。

ウエハ上の接触角測定はこれらの材料の濡れ性と表面特性の評価に重要であり、これらの材料は電子製造に広く応用されている。液滴とウェハ表面との接触角度を評価することにより、研究者はシリコンの表面エネルギーと接着性能を深く理解することができる。これらの情報は、半導体製造におけるコーティング、リソグラフィ、結合などのプロセスを最適化するために重要である。接触角を理解することは、ウェハと製造過程で使用される各種材料との予想される相互作用を確保し、最終的に電子機器の性能と信頼性を高めるのに役立つ。

アプリ

•表面清浄度の研究

接触角測定は、表面汚染物及び残留物の除去状況を評価するためにウェハの清浄度を評価することができる。

•表面自由エネルギーの決定

接触角を測定することにより、表面自由エネルギーを推定することができ、これは他の材料がウェハとどのように相互作用するかを理解するために重要である。

•接着性の理解

接触角は、ウエハに適用されるコーティング及びフィルムの接着特性を決定するのに役立つ。

•親水性/疎水性の研究

接触角を測定することで、ウェハ表面が親水性であるか疎水性であるかを決定し、フォトリソグラフィーやエッチングなどのプロセスに影響を与えることができる。

•品質管理用

定期的な接触角測定は、ウェハ加工と処理の一貫性を確保するための品質制御プロセスの一部とすることができる。

ウェハ接触角測定をサポートするソフトウェア機能

•複数のウエハの配列を迅速に測定するためのバッチモード。

•標準的な座滴法で、より深い分析を行うことができます。

ウェハじどうかいてんだい

Thetaシリーズウェハサンプルテーブルは、直径12インチまでのウェハの接触角自動位置決め測定を実現するためにウェハを回転させるためのソフトウェアによって制御される電動プラットフォームです。

Thetaシリーズウェハサンプルテーブルは、回転テーブル（T 340 R）とウェハテーブル（T 340 RW）を含む。ウェハテーブルのプラグは、ウェハの高精度な位置合わせと位置決めに役立ちます。位置決めピンは、測定中にウェハを適切な位置に保つのにも役立ちます。ウェハをさらに固定するために、内蔵された真空接続口を介して真空ポンプに接続することもできる。

Thetaシリーズウェハサンプルテーブルは自動XYZサンプルテーブルに接続され、直径12インチまでのウェハを自動的に位置決めすることができる。回転テーブルの性能を最大限に高めるためには、4つの捨てられる滴下ヘッド滴下器と併用することをお勧めします。これにより、表面自由エネルギー測定を自動的に行うか、水のみを使用して連続的な測定回数を増やすことができます。