ロータ真空計

ドシトラー

超清浄、高耐用、耐食性の高真空圧力測定方案

主なメリット：

• 多数のイオン化ゲージを直接置換可能（1：1互換）

• 自主的に働くロータ真空計（SRG）

• 標準レベル精度の転送

• 測定範囲：10 mbarから5×10 mbar

• 100%線形出力

• '0'ドリフト（<1.5%/年）

• 腐食防止と堆積

• 交換可能センサー

• 超清浄/無菌設計

• 真空チャンバ内に電子部品がない

• 設備と同寿命設計

• 24 VDC給電

• 0-10 VDC構成可能出力

一般的な用途：

• こしょうでんりゲージちかん

• イオン注入、ドライエッチング

• オンライン真空絶縁モニタリング

技術的な説明

DosiTorrはロータ真空計（SRG）技術のプロセス用圧力計。それはステンレス鋼球が電磁力によって回転する簡単な設計を採用し、ピラニゲージ（熱伝導）やイオン化ゲージ（イオン化効果）に比べて、被測定媒体に影響を与えず、高純度プロセス環境の理想的な選択である。腐食性プロセス環境においても、DosiTorrは長期的に安定した高精度測定を維持することができ、これはSRGセンサの堆積と腐食に対する天然抵抗性のおかげである。

SRG技術技術技術技術技術の優位性

SRG技術の高精度と長期安定性は、イオン化ゲージ較正などの真空計較正の分野で長年検証されてきた。現在、この技術は自律的なプロセスセンサの形で現れている：

• 超高精度：0.1 mbarから1×10 mbarの範囲内で示度±1%に達する

• 100%線形圧力示度（ガス種に関係なく）

• 長期安定性：年間ドリフト率<1.5%

• ステンレスセンサの腐食防止と堆積

• 安全クリーン測定：無汚染/無熱放射/無イオン化効果

強化されたプロセスの適合設計：

• 磁気遮蔽：外部磁場干渉防止

• 磁気浮上システムの強化：測定信頼性の向上

• 集積温度センサ：自動温度漂い補償

• 高回転数：振動感受性の低下

SRG技術原理

ロータ真空計（SRG）ガス分子の吸着・脱着による回転子減速効果に基づいて、減速速度を測定することにより真空圧力を計算する。システムには次の3つのコンポーネントが含まれています。

1. センサアセンブリ

• 磁性ステンレス鋼球（センサコア）

• 真空システムを接続するスリーブに取り付ける

2. 測定ヘッドアセンブリ

• 電磁場による浮上/加速/測定

• 真空システムに外付け

3. 電子制御ユニット

• センサ制御と信号処理

プロダクトシリーズ