ウェハXRTイメージング技術

ウェハXRTイメージング技術この装置は高精度X線技術、非破壊透視材料内部格子構造を利用して、単結晶シリコン/炭化ケイ素/窒化ガリウムなどの多種材質の裸ウエハ内部欠陥をオフライン/全自動測定でき、内部マイクロクラック/転位/介在物/マイクロチューブ/沈殿物/スリップ/積層欠陥/表面スクラッチ/副結晶粒などの欠陥を検査でき、そしてアルゴリズムを持参して、非標準カスタムサービスを提供することができる。

インテリジェントX線回折イメージング検出・分析システム

検出欠陥：亀裂とマイクロクラック/転位/介在物/マイクロチューブ/沈殿物/スリップ/積層欠陥/表面スクラッチ/副結晶粒など。

回折イメージング後、AI画像解析ソフトウェアはデータの処理を自動化し、結果報告を生成することができる。この専門的な欠陥検出分類ソフトウェアは、形状、サイズ、位置、強度、配向などを含む30以上の調整可能なパラメータのうちの1つ以上の次元に基づいて欠陥を分類することができます。

ウェハXRTイメージング技術自動分類とカウント

自動化結果報告：結果報告も必要に応じてカスタマイズして開発することができ、本装置はKLARF報告、ウエハ欠陥分布画像、詳細な欠陥分類/要約リスト、および簡潔な合格/不合格判定報告を含む多種の出力フォーマットを提供する。