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WAUルーツポンプ

ネゴシエーション可能更新05/06

モデル

メーカーの性質: 生産者

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概要

（例えばCVDプロセスにおけるエッチングガス）$r$n モジュラー型メンテナンス r$nギアボックスとポンプキャビティを隔離して設計し、潤滑油は媒体汚染を受けず、交換周期は、次のようにする。（例えば、CVDプロセスにおけるエッチングガス）$r$n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n n nギアボックスはポンプキャビティから隔離して設計した。（潤滑油は媒体汚染を受けず、交換周期は、（図1）。（図1）

製品詳細

WAUルーツポンプコアモデルと技術パラメータ

‌型番‌	鄒抽気速度（m³/h）鄒	‌限界圧力（mbar）‌		鄒構造特性鄒	鄒適配前段ポンプ鄒
‌WAU 1001‌	1000	4×10⁻²	4.0	横型/縦型オプション、軸封タンク油量1.3 L	SVシリーズオイルシールポンプ8
‌2001年‌	2050	4×10⁻²	7.5	バイパス弁付き、DN 160フランジ、騒音≦80 dB	D 65 Bオイルシールポンプ59
‌WAU 251‌	253	<8×10⁻²	1.1	周波数変換対応（20-100 Hz）、フッ素ゴムシール	中小型ロータポンプ7
‌WAU 501‌	505	4×10⁻²	2.2	三つ葉ロータノイズ低減（67 dB）、重量わずか136 kg	SOGEVACシリーズ6

重要設計：全シリーズ標準配置のバイパス弁システム、大気圧起動を支持し、抽気時間を30%短縮

WAUルーツポンプの技術的優位性

1、高効率省エネ

空冷設計は外部冷却水を必要とせず、エネルギー消費量は従来の水冷ポンプより40%低い

周波数変換速度調整互換性（WAU 251を4200 rpmに加速）、モード適合性を50%向上

2、オイルシールなし

缶入りモータ（Canned Motor）は潤滑油汚染を遮断し、半導体、光起電力めっき膜などの高純度プロセスの要求を満たす

3、モジュール化メンテナンス

ギアボックスとポンプキャビティは隔離設計されており、潤滑油は媒体に汚染されず、交換周期は4000時間まで延長されている

縦型/横型の高速切り替えにより、設備のレイアウトスペースを節約

保守と障害予防

1、強制保守項目

2000時間運転ごとにベアリングと機械シールを交換し、元工場のLVO 100/210潤滑油を使用する

ポンプキャビティを洗浄するには5%酸アルカリ液が必要であり、粒子研磨剤を使用しない

2、運行禁止

連続差圧＞100 mbarはロータの過熱変形を引き起こす（圧力センサをインターロックする必要がある）

3、アップグレードオプション

磁気浮上軸受の取り付け：機械損失が40%減少、メンテナンスフリーサイクルが8000時間を突破

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