TURBOVAC iリニアモーター分子ポンプ

TURBOVAC iリニアモーター分子ポンプTURBOVACiシリーズはハイブリッドロータ軸受を有している：前段真空側の軸受は終生潤滑のセラミックボール軸受であり、高真空側の軸受は摩耗しない磁気浮上軸受である。

これらのタイプのすべての軸受には通常、潤滑油が必要ありません（ポンプが静止している条件下では、吸引作用がないため、潤滑油が真空チャンバに拡散して戻る可能性があります）。

ターボ分子ポンプは大気圧で直接圧縮することができないため、常に定格値が十分な前段真空ポンプを必要としますが、私たちもちょうどこのポンプを提供しています。流量と最終圧力の要件に応じて、システム要件を満たすために異なる前段真空ポンプを提供します。

TURBOVAC iリニアモーター分子ポンプ混合軸受システムを採用：

高真空側：磁気浮上軸受（機械的接触なし、摩耗なし、メンテナンスフリー）。

前段真空側：セラミックボールベアリング（終生潤滑、現場交換可能）。

分子ポンプ設計理念

ライボ真空は異なる応用に対して異なる軸受とロータ技術に基づくターボ分子ポンプを提供する。例えばTURBOVACシリーズ機械軸受標準分子ポンプ、TURBOVAC MAGシリーズ磁気浮上軸受分子ポンプ、TURBOVAC i/iXシリーズ半磁気浮上分子ポンプ（半磁気浮上分子ポンプは排気端にのみグリース潤滑軸受を配置し、高真空端にはメンテナンスフリーの永久磁気軸受を配置する）。レポー真空の分子ポンプはいずれも油潤滑軸受を用いず、分子ポンプによるキャビティへの炭化水素汚染を理論的に完全に回避し、すべての分子ポンプが任意の角度で取り付けられることを保証することができる。