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真空ポンプユニットHicube

交渉可能更新01/22
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
真空ポンプユニットHicube
製品詳細

ファイファー普発タービン分子ポンプユニット

シークバシリーズ移動式真空ポンプユニットは業界で新たな基準を設けた:最新シリーズのHiPace のターボ分子ポンプと、顧客の応用ニーズに応じて選択可能な前段ポンプシリーズとが完全に組み合わされている。シークバ真空ポンプユニットシリーズは主にヒキューブ ECO(経済的)、Hicube クラシックHicuba Pro3種類の真空ポンプユニット。真空ポンプユニットは乾燥ポンプまたはロータポンプを前段ポンプとして選択でき、限界真空度は5 * 10-10mbar。特に限られたスペース要件に対して、シークバ真空ポンプユニットには、特に非常に小型のHicubeエコ経済型ポンプユニットであって、そのポンプ速度範囲は35 l/秒まで67 l/秒

に基づいてHiPace のターボ分子ポンプの選択の違い、HiCube真空ポンプユニットは、HiCube 80真空ポンプユニットシリーズ、HiCube 300真空ポンプユニットシリーズ、HiCube 400真空ポンプユニットシリーズ、HiCube 700真空ポンプユニットシリーズ。

利点:

ターボ分子ポンプと前段ポンプの完璧な結合、多種の応用ニーズに適合する、

モジュール化設計の原則は顧客の多種の応用ニーズを簡単に満たす、各部品の配合が簡便で、メンテナンスが容易である、

統合された駆動システムで、追加の制御システムは必要ありません。「プラグアンドプレイ」-配線や設置が不要、

予期せぬ停電時、前段真空安全弁(オプション.)逆流の影響から真空チャンバを保護することができ、

直接接続可能な真空計

ファイファー Hicube真空ポンプユニット製品分類:

ドイツ普発ファイファー Hicube ECO真空ポンプ:コンパクトな設計と高性能によりヒキューブ ECO真空ポンプユニットは多くの応用に理想的な解決策を提供した、すべての高真空応用に適用する、配備されているハイペース 80ターボ分子ポンプとMVP 015乾式ダイヤフラム前段ポンプ、

ドイツ普発ファイファー HiCube Classic真空ポンプユニット:すべての高真空と超高真空応用に適用する、抽気速度ガンダム685リットル/秒、ドライポンプとオイルシール前段真空ポンプを装備することができる。選択可能な抽気速度4.3 m3/hの乾式ダイヤフラム前段ポンプまたはポンプ速度が最大6m3/hのロータポンプを前段真空ポンプとし、

ドイツ普発ファイファー HiCube Pro真空ポンプユニット:すべての高真空応用に適用する、抽気速度ガンダム685リットル/秒、ドライポンプとオイルシール前段ポンプを備えることができる、その特性は極めて高い抽気速度を持つことである。選択可能ペンタラインロータポンプとACP前段ポンプとして多段ルーツポンプ、

以上の真空ポンプ群ヒキューブ ECO(経済的)、Hicube クラシックHicuba Proいずれも表示制御ユニットをお客様のニーズに合わせて選択できます。


パラメータ

モデル

ジョイントフランジ

くうしゅつそくどL/S

げんかいしんくうmbar の

前段ポンプの抽気速度m3/時間

入り口

N2 の

Hicube 80 エコ

KF40

35

10-7

15L/分

Hicube 80 エコ

ISO-K 63

67

10-7

15/分

Hicube 80 エコ

CF63

67

10-7

15L/分

クラシック

フランジ接続

くうしゅつそくどL/S

げんかいしんくうmbar の

前段ポンプの抽気速度m3/時間

入り口

N2 の

MVP040型

MVP070

デュオ 3

DUO5M

MVP040型

MVP070

デュオ 3

DUO5M

Hicube 80 クラシック

KF40

35

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 80 クラシック

ISO-K 63

67

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 80 クラシック

CF63

67

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 300 クラシック

ISO-K100

260

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 300 クラシック

CF100

260

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 400 クラシック

ISO-K100

355

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 400 クラシック

CF100

355

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 700 クラシック

ISO-K160

685

10-7

2.3

3.8

2.9

5

Hicube 700 クラシック

CF160

685

10-8

10-8

5*10-10

5*10-10

2.3

3.8

2.9

5

プロ

フランジ接続

くうしゅつそくどL/S

げんかいしんくうmbar の

前段ポンプの抽気速度m3/時間

入り口

N2 の

ACP

デュオ

パスカル

ACP

デュオ

パスカル

Hicube 80 Pro

KF40

35

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 80 Pro

ISO-K 63

67

10-7

14/27

9/20

9/18

シークベイ80プロ

CF63

67

5*10-10

14/27

9/20

9/18

Hicube 300 Pro

ISO-K100

260

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 300 Pro

CF100

260

5*10-10

14/27

9/20

9/18

Hicube 400 Pro

ISO-K100

355

10-7

14/27

9/20

9/18

Hicube 400 Pro

CF100

355