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上海市奉賢区程普路377号悠口産業園D区1106室
上海絵吉電子科技有限公司
上海市奉賢区程普路377号悠口産業園D区1106室
ファイファー普発タービン分子ポンプユニット
シークバシリーズ移動式真空ポンプユニットは業界で新たな基準を設けた:最新シリーズのHiPace のターボ分子ポンプと、顧客の応用ニーズに応じて選択可能な前段ポンプシリーズとが完全に組み合わされている。シークバ真空ポンプユニットシリーズは主にヒキューブ ECO(経済的)、Hicube クラシック、Hicuba Pro3種類の真空ポンプユニット。真空ポンプユニットは乾燥ポンプまたはロータポンプを前段ポンプとして選択でき、限界真空度は5 * 10-10mbar。特に限られたスペース要件に対して、シークバ真空ポンプユニットには、特に非常に小型のHicubeエコ経済型ポンプユニットであって、そのポンプ速度範囲は35 l/秒まで67 l/秒。
に基づいてHiPace のターボ分子ポンプの選択の違い、HiCube真空ポンプユニットは、HiCube 80真空ポンプユニットシリーズ、HiCube 300真空ポンプユニットシリーズ、HiCube 400真空ポンプユニットシリーズ、HiCube 700真空ポンプユニットシリーズ。
利点:
ターボ分子ポンプと前段ポンプの完璧な結合、多種の応用ニーズに適合する、
モジュール化設計の原則は顧客の多種の応用ニーズを簡単に満たす、各部品の配合が簡便で、メンテナンスが容易である、
統合された駆動システムで、追加の制御システムは必要ありません。「プラグアンドプレイ」-配線や設置が不要、
予期せぬ停電時、前段真空安全弁(オプション.)逆流の影響から真空チャンバを保護することができ、
直接接続可能な真空計
ファイファー Hicube真空ポンプユニット製品分類:
ドイツ普発ファイファー Hicube ECO真空ポンプ:コンパクトな設計と高性能によりヒキューブ ECO真空ポンプユニットは多くの応用に理想的な解決策を提供した、すべての高真空応用に適用する、配備されているハイペース 80ターボ分子ポンプとMVP 015乾式ダイヤフラム前段ポンプ、
ドイツ普発ファイファー HiCube Classic真空ポンプユニット:すべての高真空と超高真空応用に適用する、抽気速度ガンダム685リットル/秒、ドライポンプとオイルシール前段真空ポンプを装備することができる。選択可能な抽気速度4.3 m3/hの乾式ダイヤフラム前段ポンプまたはポンプ速度が最大6m3/hのロータポンプを前段真空ポンプとし、
ドイツ普発ファイファー HiCube Pro真空ポンプユニット:すべての高真空応用に適用する、抽気速度ガンダム685リットル/秒、ドライポンプとオイルシール前段ポンプを備えることができる、その特性は極めて高い抽気速度を持つことである。選択可能ペンタラインロータポンプとACP前段ポンプとして多段ルーツポンプ、
以上の真空ポンプ群ヒキューブ ECO(経済的)、Hicube クラシック、Hicuba Proいずれも表示制御ユニットをお客様のニーズに合わせて選択できます。
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パラメータ モデル |
ジョイントフランジ |
くうしゅつそくどL/S |
げんかいしんくうmbar の |
前段ポンプの抽気速度m3/時間 |
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|
入り口 |
N2 の |
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|
Hicube 80 エコ |
KF40 |
35 |
10-7 |
15L/分 |
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|
Hicube 80 エコ |
ISO-K 63 |
67 |
10-7 |
15/分 |
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|
Hicube 80 エコ |
CF63 |
67 |
10-7 |
15L/分 |
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|
クラシック |
フランジ接続 |
くうしゅつそくどL/S |
げんかいしんくうmbar の |
前段ポンプの抽気速度m3/時間 |
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|
入り口 |
N2 の |
MVP040型 |
MVP070 |
デュオ 3 |
DUO5M |
MVP040型 |
MVP070 |
デュオ 3 |
DUO5M |
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|
Hicube 80 クラシック |
KF40 |
35 |
10-7 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
|||||||
|
Hicube 80 クラシック |
ISO-K 63 |
67 |
10-8 |
10-8 |
5*10-10 |
5*10-10 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
||||
|
Hicube 80 クラシック |
CF63 |
67 |
10-7 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
|||||||
|
Hicube 300 クラシック |
ISO-K100 |
260 |
10-7 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
|||||||
|
Hicube 300 クラシック |
CF100 |
260 |
10-8 |
10-8 |
5*10-10 |
5*10-10 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
||||
|
Hicube 400 クラシック |
ISO-K100 |
355 |
10-7 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
|||||||
|
Hicube 400 クラシック |
CF100 |
355 |
10-8 |
10-8 |
5*10-10 |
5*10-10 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
||||
|
Hicube 700 クラシック |
ISO-K160 |
685 |
10-7 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
|||||||
|
Hicube 700 クラシック |
CF160 |
685 |
10-8 |
10-8 |
5*10-10 |
5*10-10 |
2.3 |
3.8 |
2.9 |
5 |
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|
プロ |
フランジ接続 |
くうしゅつそくどL/S |
げんかいしんくうmbar の |
前段ポンプの抽気速度m3/時間 |
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|
入り口 |
N2 の |
ACP |
デュオ |
パスカル |
ACP |
デュオ |
パスカル |
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|
Hicube 80 Pro |
KF40 |
35 |
10-7 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
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|
Hicube 80 Pro |
ISO-K 63 |
67 |
10-7 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
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|
シークベイ80プロ |
CF63 |
67 |
5*10-10 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
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|
Hicube 300 Pro |
ISO-K100 |
260 |
10-7 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
||||||||
|
Hicube 300 Pro |
CF100 |
260 |
5*10-10 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
||||||||
|
Hicube 400 Pro |
ISO-K100 |
355 |
10-7 |
14/27 |
9/20 |
9/18 |
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|
Hicube 400 Pro |
CF100 |
355 |
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