超高真空コーティング装置

一、コアパラメータ：

価格帯：200万-300万

機器の種類：電子ビーム蒸着めっき機

産地別：国産

応用分野：マイクロエレクトロニクス

基板サイズ：4インチ（カスタマイズ可能）

ターゲット：AL

基板温度範囲：RT-900ºC

成膜厚均一性：均一性<3%

限界真空：<1 E-9 Torr

二、ジョセフソン接合超高圧システム：

超高真空コーティング装置専門的にジョセフソン接合を製造し、必要な金属層と酸化絶縁層を正確に成長させ、高性能製造と高歩留まりを確保することができる、このめっき装置には試料注入室、アルゴンイオン洗浄室、電子ビーム蒸発室及び酸化室があり、計4つの高真空チャンバがあり、チャンバ間で試料伝達棒を用いて高真空試料を伝達し、伝達モジュールは把持式設計を採用しなければならない。デバイスのすべてのプロセスは、4インチ以内のウェハまたは不規則なサンプルをサポートしています。設備の全体のプロセスは、ユーザーが設定したパラメータに基づいて自動運転することができ、プロセスプロセスは限定されない：真空引き、気圧監視、イオン洗浄、サンプル位置調整、サンプル移動、加熱、電子ビーム蒸発特定厚さ設定、自動気圧調整などを含む。

三、厦門韫茂科技有限公司が提供する超高真空コーティング装置QBT-Jのパラメータ、価格、型番、原理などの情報、QBT-Jの産地は福建、ブランドは韫茂、型番はQBT-J、価格は200万-300万RMBで、より多くの関連情報はコンサルティングできて、会社のカスタマーサービス電話7*24時間はあなたのためにサービスします。

四、アフターサービス：

保証期間：1年

保証期間を延長できるかどうか：No

現場技術コンサルティング：有

無料トレーニング：1.設備出荷前に、少なくとも2人1週間の設備原工場トレーニングを提供する。2.設備は現場で設置調整を完了する

無料機器保守：手配できる必要がある

保証内修理承諾：保証期間内（天災と人為的損害を除く）部品、部品費用、出張費用はすべて我が社が負担する

修理承諾：品質保証期間内に故障が発生した場合、弊社は直ちに対応し、8時間以内に技術者を現場に派遣して故障を解決する

五、技術パラメータ：