-
メール
wu.xiaoyu@ym-qbt.com
-
電話番号
19906051395
-
アドレス
アモイ市集美区集美北大道1068-6号安仁産業園
厦門韫茂科技有限公司
概要
二重空洞高真空プラズマ原子層堆積システムは、気相前駆体パルスを反応空洞内に交互に通過させ、堆積基体上に化学吸着し、反応させることによって堆積膜を形成する技術であり、自己限定性と自己飽和を有する。原子層堆積技術の主な応用は各種の寸法と形状の基板上に高精度、ピンホールなし、高保形のナノ薄膜を堆積することである。
製品詳細
一、コアパラメータ：
産地カテゴリ：国産原子層堆積システム（ALD）
基板サイズ：6寸
プロセス温度：RT-300℃
前駆体数：最大3群のプラズマ反応ガス、8群の液体または固体反応前駆体を含むことができる
重量：300 KG
サイズ（WxHxD）：1400*1000*1900 mm
均一性：99%
二、原子層堆積（Atomiclayerdeposition）気相前駆体パルスを反応チャンバ内に交互に通過させ、堆積基体上に化学吸着し反応させることにより堆積膜を形成する技術であり、自己限定性と自己飽和を有する。原子層堆積技術の主な応用は各種の寸法と形状の基板上に高精度、ピンホールなし、高保形のナノ薄膜を堆積することである。
三、製品の説明：
アモイテルマム科学技術会社の二重空洞高真空プラズマ原子層堆積システム（QBT-T）は、設備が二重空洞設計を採用し、空洞間の独立制御、二倍産出を実現することができる。チャンバはそれぞれPEALDチャンバ、粉末ALDチャンバである。二重空洞の二機能設計のため、装置は平板上でプラズマALDの成長プロセス及び粉末ALD被覆プロセスを実現することができ、装置は独立に制御された300℃完全加熱反応空洞システムを備え、プロセス温度の均一性を保証する。このシステムは粉末サンプルバケツ、ウエハキャリア、全自動温度制御、ALD前駆体源鋼ボトル、自動温度制御弁、工業級安全制御、及び現場RGA、QCM、オゾン発生器、手袋箱、極片棚などの設計オプションを有する。は*エネルギー材料、触媒材料、新型ナノ材料、半導体分野の研究と応用の最適な研究開発ツールの一つである。
四、厦門韫茂科技有限公司は双空洞高真空プラズマ原子層堆積システムQBT-Tのパラメータ、価格、型番、原理などの情報を提供して、QBT-T産地は福建、ブランドは韫茂、型番はQBT-T、価格は100万-200万RMBで、より多くの関連情報は問い合わせ可能で、会社のカスタマーサービス電話7*24時間はあなたのためにサービスします。
五、技術パラメータ：
産地カテゴリ：国産原子層堆積システム（ALD）
基板サイズ：6寸
プロセス温度：RT-300℃
前駆体数：最大3群のプラズマ反応ガス、8群の液体または固体反応前駆体を含むことができる
重量：300 KG
サイズ（WxHxD）：1400*1000*1900 mm
均一性：99%
二、原子層堆積（Atomiclayerdeposition）気相前駆体パルスを反応チャンバ内に交互に通過させ、堆積基体上に化学吸着し反応させることにより堆積膜を形成する技術であり、自己限定性と自己飽和を有する。原子層堆積技術の主な応用は各種の寸法と形状の基板上に高精度、ピンホールなし、高保形のナノ薄膜を堆積することである。
三、製品の説明：
アモイテルマム科学技術会社の二重空洞高真空プラズマ原子層堆積システム（QBT-T）は、設備が二重空洞設計を採用し、空洞間の独立制御、二倍産出を実現することができる。チャンバはそれぞれPEALDチャンバ、粉末ALDチャンバである。二重空洞の二機能設計のため、装置は平板上でプラズマALDの成長プロセス及び粉末ALD被覆プロセスを実現することができ、装置は独立に制御された300℃完全加熱反応空洞システムを備え、プロセス温度の均一性を保証する。このシステムは粉末サンプルバケツ、ウエハキャリア、全自動温度制御、ALD前駆体源鋼ボトル、自動温度制御弁、工業級安全制御、及び現場RGA、QCM、オゾン発生器、手袋箱、極片棚などの設計オプションを有する。は*エネルギー材料、触媒材料、新型ナノ材料、半導体分野の研究と応用の最適な研究開発ツールの一つである。
四、厦門韫茂科技有限公司は双空洞高真空プラズマ原子層堆積システムQBT-Tのパラメータ、価格、型番、原理などの情報を提供して、QBT-T産地は福建、ブランドは韫茂、型番はQBT-T、価格は100万-200万RMBで、より多くの関連情報は問い合わせ可能で、会社のカスタマーサービス電話7*24時間はあなたのためにサービスします。
五、技術パラメータ：
