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アドレス
深セン市龍華新区梅隴路906号電子商取引グループ3階全体
製品分類
深セン市京都玉崎電子有限公司
概要
ULVAC/愛髪科ピラニ真空計$r$nセンサユニット（SP 1）は、「Model：G-TRAN」のピラニ真空計測定ユニットである。「測定ステータと回路一体型（測定ステータは交換可能）」構造で、コスト削減と省スペース化が可能。
製品詳細
ULVAC/エルバ科ピラニ真空計
ULVAC/エルバ科ピラニ真空計
センサユニット（SP 1）は、「Model：G-TRAN」のピラニ真空計測定ユニットである。「測定ステータと回路一体型（測定ステータは交換可能）」構造で、コスト削減と省スペース化が可能。
特徴
センサ仕様：圧力インジケータが必要ない場合
・真空計成低下
・制御ボードの省スペース化
・配線簡略化ステータの交換が容易
フィラメントに耐食性材料白金を使用
これまで使用されていた測定部品（SP 1：WP-01、02、03、16）は使用されている
2つのセットポイントを出力できます
SP 1：圧力0〜5 V出力（非線形出力）
電源電圧：24 VDC入力
用途
半導体・電子部品等の各種製造装置の低真空領域のプロセス制御に用いる
炉等の各種産業機器の低真空分野におけるプロセス制御
in-line式・枚葉式などのプロセスチャンバが多い各種製造設備の低真空領域におけるプロセス制御
仕様
| タイプ | センサユニット |
| モデル | 妊娠特異性β1糖蛋白質 |
| 互換性のあるセンサヘッド | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
|
正確性 |
±15=51（約760 Pa） |
| ~ 1000 Paに対して、±30=10） | |
| ~ 3000 Paに対して、±50=0.4） | |
| 動作温度範囲 | 10~40°C |
| 測定値出力 | 非線形出力：0～5ボルト直流（最大10ボルト） |
| 設定点1/2圧力設定調整モニタ | 非線形出力：0～5ボルト直流（最大10ボルト） |
| 制御出力信号 | オープンコレクタ電極出力、負の論理 |
| エラー信号 | |
| セットポイント1/2 | |
| LEDディスプレイ | パワー、誤差、セットポイント1、セットポイント2 |
| 電源電圧 | DC 24 V±2 V、最大90 mA。 |
| 入出力コネクタ | D-sub-15 P（M 2.6ネジ） |
| 重さ | 190 g/0.41ポンド（センサーヘッドを含まない） |
標準部品 |
入出力コネクタ1個 |
| 高速手動1件 |
IOとアナログGNDはパワーGNDから分離されていない。
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