プロセスと材料特性評価システムTriboLab CMP

ネゴシエーション可能更新05/07

モデル

メーカーの性質: 生産者

製品カテゴリー

原産地

オンライン相談

概要

プロセスと材料キャラクタリゼーションシステムTriboLab CMPは、20年を超えるCMP分野の専門知識を結合し、プロセス開発に高精度と高繰り返し性のソリューションを提供した。このシステムは広範な研磨条件をシミュレーションすることができ、摩擦力、音響放出、表面温度などを含む包括的な測定機能を備えている。その柔軟な設計により、各種材料とサンプルサイズをテストすることができ、特に研究開発段階での使用に適しており、小サンプル上で詳細な特徴付けを実現し、コストを節約し、効率を高めることができる。

製品詳細

プロセスと材料特性評価システムTriboLab CMP前身製品（Bruker CP-4）の20年を超えるCMP分野の専門知識を利用して、業界のTribobLabプラットフォームに完全な機能をもたらした。本装置に基づいて生成された高精度かつ高再現性により、CMPプロセス全体にわたって効率的な鑑別、検査、および連続機能テストを行うことができる。TriboLab CMPは、市場で唯一、広範な研磨圧力（0.05〜50 psi）、速度（1〜500 rpm）、摩擦、音響放出、表面温度測定を提供できるプロセス開発ツールであり、CMPプロセスと消耗品を正確かつ完全に記述することができる。

CMP用の小規模な開発規模の専門システムプロセスと材料特性評価システムTriboLab CMP

ブルックのTriboLab CMPプロセスと材料特性評価システムは、ウェハ研磨プロセスのために設計され、信頼性があり、柔軟で効率的なデスクトップデバイスです。

フルサイズウエハ研磨プロセス条件を再現し、生産設備上の停止を必要としない

無対の倫比の測定再現性と詳細な検出を提供する

小サンプルでのテストを可能にし、全ウェハテストよりも大幅なコスト削減

オンボード診断システムは研磨プロセスをよりよく理解することができます

市場の他のシステムよりも多くの過渡研磨プロセスのパラメータを提供する

ディスクへの接触からテストプロセス全体にわたってデータを収集

より完全で詳細なデータによる早期プロセス開発の意思決定

柔軟なサンプルタイプ、サイズ、インストール構成

任意の平面材料を研磨し、ほとんど任意の修正ディスク、任意の研磨液、および任意の研磨パッドを使用することができます

100 mm以下の小サイズウエハを手軽に使用