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サンビン計器科学技術(上海)有限公司
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Thermoサイマー飛FEI走査電子顕微鏡イオン源現物見積もり

交渉可能更新01/08
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概要
16830 ThermoサイマーフライFEI走査型電子顕微鏡イオン源現物見積もりThermo Scientific Scios 2 DualBeamは超高解像度の分析セットである#160;集束イオンビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM)システムは、磁性及び非導電性材料を含む各種サンプルに優れたサンプル調製及び3 D特性評価性能を提供することができる
製品詳細

16830Thermoサイマー飛FEI走査電子顕微鏡イオン源現物見積もり

サイマー飛行FEL部品消耗品

16830イオン源

4035 273 12631 ドレイン極

4035 273 6 7441しぼり

4035 272 35991よくせいきょく

4035 272 35971 ドレイン極

1058129 ドレイン極

1301684 抑圧器 よくせいきょく

1096659 アーパーチャー しぼり

1346158 PT

Thermo Scientific Scios 2 DualBeamは超高分解能の分析集束イオンビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM)システムであり、磁性及び非導電性材料を含む各種サンプルに優れたサンプル調製と3 Dキャラクタリゼーション性能を提供することができる。Scios 2 DualBeamは革新的な機能設計によりフラックス、精度及び使いやすさを向上させ、科学者とエンジニアの学術、政府及び工業研究分野における高度な研究と分析ニーズを満たす理想的なソリューションである。

高品質サブ表面と 3 D情報

典型的には、試料の構造および特性をよりよく理解するために、サブ表面または3次元特性化を行う必要がある。Scios 2 DualBeamおよびオプションのThermo Scientific Auto Slice&View 4(AS&V 4)ソフトウェアは、最大材料コントラストのための後方散乱電子(BSE)イメージング、情報を構成するためのエネルギー分散スペクトル(EDS)、および微細構造および結晶学情報のための電子後方散乱回折(EBSD)を含む高品質で全自動のマルチモード3 Dデータセット収集を提供することができる。Thermo Scientific Avizoソフトウェアと組み合わせて使用すると、Scios 2 DualBeamはナノスケールの高解像度、高度な3 Dキャラクタリゼーション、分析に提供することができますのワークフローソリューションを提供します。

完全なサンプル情報を超高解像度で提供

革新的 NICOL電子カラムはシステムの高解像度イメージングと検出能力の基礎を提供した。30 keVのSTEMモード(構造情報へのアクセス)でも低エネルギー(無電荷の詳細な表面情報の取得)でも、優れたナノスケールの詳細を提供するためのさまざまな動作条件に適しています。Scios 2 DualBeamが有する鏡筒内Thermo Scientific Trinity検出システムは、角とエネルギー選択二級電子(SE)及びBSEイメージングデータの同時収集に専用である。上から下までの詳細なナノスケール情報にすばやくアクセスできるだけでなく、傾斜したサンプルやクロススライスの情報にもすばやくアクセスできます。オプションのレンズ下検出器と電子ビーム減速モードは、すべての信号を迅速かつ容易に同時に収集し、材料表面または交差スライスの中で最小の特徴を明らかにすることができる。全自動整列機能を備えたNICOLカラムは、高速、正確、再現可能な結果を得ることができます。

高品質の迅速かつ容易な製造 TEMサンプル

科学者とエンジニアは絶えず新しい挑戦に直面し、ますます複雑になるサンプルのより小さな特徴を高度に局所的に特徴づける必要がある。Scios 2 DualBeamの革新と、オプション、使いやすさ、包括的なThermo Scientific Autotem 4ソフトウェア、サイマーフェザーテクノロジーの応用専門知識を組み合わせることで、お客様が多様な材料のためのカスタマイズされた高解像度S/TEMサンプルを迅速かつ便利に製造することができます。高品質の結果を得るためには、試料表面の損傷を最小限に抑えるために、低エネルギーイオンを用いた最終研磨が必要である。Thermo Scientific Sidewinder HT集束イオンビーム(FIB)鏡筒は高電圧下で高分解能イメージングとミリング能力を持つだけでなく、良好な低電圧性能を持ち、高品質のTEMシートを作成することができる。

16830Thermoサイマー飛FEI走査電子顕微鏡イオン源現物見積もり

主な特徴

迅速で便利な調製

使用する Sidewinder HTイオンカラムは高品質で現場固有のTEMと原子プローブ試料を得た。

超高解像度イメージング

広く使われている磁性及び非導電性材料を含む一般的な試料範囲内の性能を有するThermo Scientific NICOL電子カラム。

最も完全なサンプル情報

さまざまな統合カラム内およびレンズ下検出器により、明瞭で正確で電荷のないコントラストが得られます。

高品質、マルチモードサブサーフェス、 3 D情報

オプションの使用 AS&V 4ソフトウェアは、関心のある領域を正確にターゲット化することにより、高品質、マルチモードサブ表面、および3 D情報を得る。

正確なサンプルナビゲーション

非常に柔軟な 110 mmステージとチャンバ室内Thermo Scientific Nav-Camカメラは、特定の用途のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。

アーティファクトレスイメージングと構成パターン

専用モード(例: DCFI、ドリフト抑制とThermo Scientific SmartScanモード。

ソリューションの最適化

フレキシブル DualBeam構成は、オプションの最高500 Paチャンバ圧力低真空モードを含み、具体的な応用要求を満たすことができる。




仕様

ビーム分解能

·最適な WD の

o 30 keV STEMで0.7 nm

o 1 keVで1.4 nm

o 1 keV(ビーム減速)で1.2 nm

ビームパラメータ空間

·ビーム電流範囲:1%は依然として

·着陸エネルギー範囲:20* eV - 30 keV

·加速電圧範囲:200V~30kV

·最大水平射野幅:7 mm WDで3.0 mm、60 mm WDで7.0 mm

·標準のナビゲーションクリップを使用した超ワイドビューの提供 (1×)

イオン光学系

·加速電圧:500V~30kV

·ビーム電流範囲:1.5 pA - 65 nA

·15位置絞りバー

·ドリフト抑制モードは、非導電性サンプルの標準モードである

·最小イオン源寿命:1000時間

·イオンビーム解像度:角の選択方法 30 kVで3.0 nm

検出器

·Trinity検出システム(鏡筒内とカラム内)

oT 1セグメント式下鏡筒内検出器

oT 2上鏡筒内検出器

oT 3伸縮性カラム内検出器(オプション)

o最大 4つの同時検出信号

·Everhart-Thornley SE検出器(ETD)

·二次イオン用 (SI)及び二次電子(SE)の高性能イオン変換及び電子検出器(ICE)(オプション)

·伸縮性、低電圧、高コントラスト、セグメント式、固体逆散乱電子検出器 (DBS)(オプション)

· BF/DF/HAADFセグメントの伸縮性STEM 3+検出器(オプション)

·サンプルとチャンバの IRカメラ

·チャンバ内 Nav-Camサンプルナビゲーションカメラ(オプション)

·集積ビーム電流測定

ステージとサンプル

フレキシブル 5軸電動プラットフォーム:

·XY範囲:110 mm

·Z範囲:65 mm

·回転:360°(無限)

·傾斜範囲:-15°〜+90°

·XY繰り返し性:3μm

·最大サンプル高さ:共心点からの間隔 85 ミリメートル

·0°傾斜時の最大サンプル重量:5 kg(サンプルラック含む)

·最大サンプルサイズ:*回転時 110 mm(より大きなサンプルであってもよいが、回転には限界がある)

·中心回転と傾斜の計算