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アドレス
住所：上海市長寧区延安中路188号2902室
製品分類
上海茂碩機械設備有限公司
概要
スイスVAT高圧サイクロン式隔離弁16.2シリーズ$r$n製品概要$r$nモデルシリーズ：VAT 16.2$r$n$r$nバルブタイプ：高圧サイクロン式隔離弁（Swing Gate Valve）$r$n$n設計特徴：$r$n$r$n$n 90#176;スイングアーム式開閉機構は、従来のゲートバルブより50%スペースを節約する$r$n$r$nダブルシールシステム（マスターシール+応急シール）$r$n$r$n$n高圧差（≦20 bar）と高真空（10µmbar）の交差モードに適している
製品詳細
スイスVAT高圧サイクロイド式隔離弁16.2シリーズ
1.製品の概要
モデルシリーズ：付加価値税16.2
バルブタイプ：高圧サイクロイド隔離弁（Swing Gate Valve）
設計の特徴：
90°スイングアーム式開閉機構により、従来のゲートバルブより50%省スペース
デュアルシールシステム（メインシール＋応急シール）
高圧差（≦20 bar）と高真空（10µmbar）の交差モードに適用する
2.重要なパフォーマンスパラメータ
| パラメータ | 技術指標 |
|---|---|
| あつりょくはんい | 超高真空（10µmbar）～20 bar（絶圧） |
| おんどはんい | -30°C ~+150°C（標準）/+250°C（高温版） |
| 漏れ率 | |
| バルブボディマテリアル | 316 Lステンレス鋼（オプションのハースト合金C-276） |
| シールマテリアル | 全金属シール（金/銅）またはフッ素ゴム（FKM） |
| くどうモード | 空気圧（標準）/電動（オプションステッピングモータ） |
| レスポンス時間 | 1秒未満（DN 100口径） |
| フランジ基準 | ISO-KF/CF/DN，ANSI 150#~300# |
3.コア技術の優位性
①スイングアーム設計
従来のゲートバルブ摩耗より70%低減（寿命>500000サイクル）
②二重冗長密封システム
マスタシール：金属シール（標準ケース）
ひじょうシール：迅速に活性化できるエラストマーシール（突発圧力変動時に自動トリガ）
③インテリジェント診断インタフェース
統合バルブ位置センサ（精度±0.1°）
予測メンテナンスのサポート（振動/温度監視による密封状態）
| 業界 | 典型的な用途 | カスタム要件 |
|---|---|---|
| 半導体 | エッチングチャンバ分離 | AlタンパOタンパめっき層、耐Clタンパ腐食 |
| エネルギー源 | ポリトロープ真空分離 | 無磁化設計（チタン合金アセンブリ） |
| 化学工業 | オートクレーブフィード制御 | Harus合金バルブボディ、耐酸アルカリ |
| 科学研究 | 超高真空対応（250°Cまで焼成） |
5.型式選択ガイド
| モデルの例 | DN口径 | あつりょくレベル | シールタイプ | 適用シーン |
|---|---|---|---|---|
| 付加価値税16.2-100-M | DN100 | 10バール | メタルシール | 半導体デバイス |
| 付加価値税16.2～150時間 | DN150 | 20バール | ハーシュメタルシール | かがくこうあつはんのうほうしきのはんのうほうしきのはんのうほうしきのはんのうほうしきのはんのうほうしきのはんのうほうしきのはんのうほうしきのはんのうほうしきのはんのうほうしきのはんのうほうしきのはんのうほうしきのはんのうほうしきのはんのうほうしきのはん |
| 付加価値税 16.2-80-XHV | DN80 | 真空専用 | EUVリソグラフィ |
6.設置とメンテナンス
インストール仕様：
トルクレンチを使用する必要がある（フランジボルトトルクは下表参照）
使用前に3回の圧力サイクル試験（0 ~ 20 bar）を行う
| フランジ基準 | ボルトトルク（Nm） | 締め付け順序 |
|---|---|---|
| DN100 ISO-KF | 12~15 | じゅうじこうさほう |
| 4安西150# | 60~75 | スタープログレッシブ |
メンテナンス計画：
6ヶ月ごと：ヘリウム質量分析漏れ試験
5年ごと：マスターシールアセンブリの交換（旧工場修理キット）
納期参照：
標準モデル：8～12週間
カスタムモデル：14～18週
資格認定と基準
SEMI F 47（電圧一時降下免疫）による
ASME BPE-2019バイオテクノロジー基準に適合
CE/PED 2014/68/EU認証
品番16248-PH 41品番16250-TA 21商品番号16254-PA 48品番16246-JA 21
品番16246-PA 48品番16251-JA 41品番16248-PA 21品番16255-JA 28
品番16252-PA 28品番16255-JA 21品番16252-JA 41品番16252-PA 21
品番16246-TA 48品番16250-PA 21品番16246-PA 41品番16250-JA 41
品番16254-PA 41品番16248-PA 28品番16246-TA 41品番16250-JA 48
品番16250-PA 28品番16248-PA 41品番16254-JA 41品番16251-JA 28
品番16246-PA 28品番16251-JA 21品番16252-JA 28品番16252-PA 48
品番16255-JA 41品番16252-JA 21品番16252-PA 41品番16246-TA 28
品番16250-PA 48品番16250-TA 48品番16248-JA 28品番16246-JA 41
品番16250-PA 41品番16246-PA 21品番16246-TA 21品番16250-JA 21
品番16250-JA 28
スイスVAT高圧サイクロイド式隔離弁16.2シリーズ
