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スイスVAT-77.3-超高真空急速シャッタ

ネゴシエーション可能更新05/13
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生産者
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概要

このシリーズは、バッフルの直径に応じて10ミリ秒以内に非常に速い速度で真空線を閉じることができます。ベゼルを閉じると、空気の流入はほぼすぐにmbar l/sレベルに減少します。これにより、全金属バルブの起動に時間がかかり、全金属バルブは漏れを残すシールに使用される。破損防止は分秒を争うため、77.3シリーズはシステム保護のための基準を設定しています。

製品詳細

スイスVAT-77.3-超高真空急速シャッタ

フラップを迅速に閉じるための主な要件は、迅速な反応と空気が流入した場合の信頼性です。空気流入による超高真空または高真空環境の損失(特に加速器や格納リングなどの大まかな量の損失)は、汚染、コンポーネント損傷などの深刻な問題を引き起こす可能性があり、必要な真空レベルの回復に力を入れる必要がある。

77.3超高真空急速閉鎖フラップは圧力上昇時に急速な閉鎖反応を持ち、真空レベルを保護することができる。このシリーズは、バッフルの直径に応じて10ミリ秒以内に非常に速い速度で真空線を閉じることができます。ベゼルを閉じると、空気の流入はほぼすぐにmbar l/sレベルに減少します。これにより、全金属バルブの起動に時間がかかり、全金属バルブは漏れを残すシールに使用される。破損防止は分秒を争うため、77.3シリーズはシステム保護のための基準を設定しています。

77.3シリーズはスロットフラップバルブ(DN 40-160)として設計されているが、DN 40バージョンはスロット開口ではなく環状開口を備えている。バルブボディの標準ベーキング温度は最高300℃、ドライバは最高50℃である。バルブカバーは金属シールであり、フィードスルーは金属ベローズを溶接してシールする。

シャッタをすばやく閉じるには、独立したコントローラが制御します。コントローラは、システムの準備状態、センサ、およびその接続を定期的にチェックすることで、迅速なシャットダウンを確保します。コントローラはモジュール化された設計を採用しており、異なるベゼル/センサ配置に対して配置することができる。空気の流入を検出すると、コントローラが起動し、同時にフラップをすばやく閉じることも起動します。これは超高真空または高真空条件下で密封された全金属バルブです。また、リモート出力のためにコントローラを介してフラップをすばやく閉じた状態も提供されます。同様に、バッフルはコントローラのインタフェースを介して遠隔制御することもできます。

77.3超高真空急速閉鎖フラップシリーズは各種プロセス条件下の加速器と貯蔵リング施設に信頼性のある性能を提供することができ、超高真空と高真空システムの信頼性保護の基準となっていることが証明された。

標準フランジコネクタはCF-Fである。お客様はフランジと特定の溝の寸法をオプションで指定します。

この一連の弁体の放射線耐性は108Gy,空気圧駆動装置の放射線耐性は104Gy

回転フラップのメンテナンス前の標準時間は2000回のスイッチであり、溝フラップは5000回のスイッチであり、これはこのバルブシリーズがその目的に使用される際に実際にメンテナンスフリーであることを意味する。77.3超高真空急速閉鎖フラップは通常、全金属バルブと組み合わせて使用される。

特徴:

  • 超高真空・高真空部品に対応

  • 高速な高真空保護シャットダウン機構

  • 高い信頼性

利点:

  • 技術が成熟している

  • 低い所有コスト

技術パラメータ:

サイズ
DN 40(1½’),DN 63(2½;’”),DN 100(4’),
DN 160(6フィート)
ドライブ くうきあつ ふくどうさ
バルブボディ材料
ステンンレス鋼
フィードスルー
ベローズ
ひょうじゅんフランジ
CF-F
ろうえいりつ バルブボディ < 1 × 10-10mbar LS の-1
バルブ座 < 30 mbar ls-1
あつりょくはんい
超高真空から1.2 bar(絶対圧力)
メンテナンス前のスイッチ回数 スロットダンパ
かいてんダンパ
5000回
2000回
やきつけおんど バルブボディ ≤300°C
ドライブ ≤50°C
ふく射抵抗性 バルブボディ
くうきドライバ
108Gy
104Gy
材料 バルブボディ AISI 316L (1.4435, 1.4404)
きこう AISI 304 (1.4301) (DN 40)
AISI 316L (1.4435) (DN 63 – 160)
バルブプレート AISI 316L (1.4404)、ぎんめっき
ベローズ AISI 633(AM 350)(スロットダンパ)
AISI 316 L(1.4404)(回転フラップ)
密封(みっぷう) バルブカバー 金属
インストール場所
バルブシート側(マーキング付き)
気流の湧き上がり方向とは逆方向

スイスVAT-77.3-超高真空急速シャッタ

品番77332-CE 44品番77344-CE 44品番77336-CE 44品番77340-CE 44