スイスVAT高真空制御スイングバルブ65.5シリーズ

65.5高真空制御スイングバルブは、高度に制御可能なフローガイドスペクトルを提供することができる。その滑らかな開閉運動のため、粒子数と粒子生成レベルが極めて低いことも主な特徴である。

このバルブは、半導体生産中の腐食性エッチングやクリーニング用途などの厳しいプロセスに特化して設計されており、これらの用途では、初期制御可能なフローガイドが低い場合には、高度に制御可能なフローガイドスペクトルが必要となる。

65.5高真空制御揺動弁のDNは250 mm（10′）であり、最小流路を2 ls−1のみに制御することができる。32ビットドライバコントローラのデータ処理能力が優れているため、フローガイドの増加を非常に細かく制御することができます。さらに、同等の16ビットコントローラに比べて、センサと制御コマンドの処理速度が速いため、より高速な駆動を提供することができます。コントローラ上の各種標準ポートコネクタは、パーソナルコンピュータまたはプロセス制御ユニットに接続することで簡単にアクセスできます。

シール摩耗を低減し、粒子の発生と生成を回避するために、開閉運動は別々である。バルブシートから遠ざかる垂直運動により第1段流路が実現され、その後、水平運動中に振り子バルブプレートを移動することにより流路が増加する。バルブプレートの運動制御性が良いため、予め設定された運動順序は技術要求に応じて正確に調整することができる。シールが閉じていることを確保するために、通過した特殊な押え棒はバルブプレートをバルブシートに押し付ける。これにより、バルブプレートの全領域のシール圧力の均一な分布を確保することができる。

コンパクトな設計と直接インストールオプション、その他のさまざまな設計オプションにより、65.5シリーズはさまざまな真空プロセスに統合されやすくなります。

65.5高真空制御スイングバルブは、ISO-FとJIS標準フランジコネクタを備えたアルミニウムまたは硬質陽極酸化アルミニウムを採用している。お客様がフランジを指定したり、120℃まで動作するバルブのためのヒータとして使用したりすることができます。

1.バルブ
2.ドライバ軸の構成方法：1.ドライブ軸の構成方法：2。（2）ドライブ軸の構成方法：2。（3）ドライブ軸：2。（4）ドライブ軸：2。（4）ドライブ軸：2。（4）ドライブ軸：2。（4）ドライブ軸：2。（4
3.2軸ドライブ
4.ドライバフィードスルーシール
5.ブレーキシール