スイスVAT高真空制御圧延弁65.3シリーズ

65.3制御圧振弁は下流圧力制御と隔離の新しい基準を設定した。このシリーズの制御圧振弁は半導体とディスプレイの生産システムのために設計され、広いフローガイド範囲内で高レベルの制御性を提供することができる。65.3制御圧振弁は集積位置制御を有するモータを備え、改善機能を提供することができる。

ドライブコントローラは32ビットのデータ処理能力を高め、新しい制御性を提供します。これは、非常に迅速で精密で正確に振り子バルブプレートの各位置を制御することができ、それによって非常に短い応答時間内に非常に正確な下流圧力制御を実現することを意味する。バルブのプリセット運動シーケンスは、さまざまな絶えず変化するプロセスパラメータに基づいて、速度と経路を調整することができます。65.3制御圧延弁はまた粒子の放出を防止することができる。65.3制御圧延弁の閉鎖はスムーズで支障がなく、閉鎖と開放はほとんど気づかない。バルブプレートは非常に正確な機械的ガイドを提供し、往復運動中の無接触気流制御を確保し、シール運動のすべての領域で均一なシールを実現することができる。

65.3制御圧振弁はすでに数百の各種技術条件下での要求が厳しい応用に取り付けられ、その信頼性と性能を証明した。65.3制御圧振弁は既存システムを改造するための理想的な選択である。

特徴：

利点：