そうごうでんどうモジュール

アスタリスク半導体業界そうごうでんどうモジュール半導体製造及び関連精密機器のために設計された伝動ソリューションであり、高精度減速機、精密モータ、センサ及び制御システムを集積し、ミクロン級乃至ナノ級の運動制御精度を実現でき、半導体プロセスの設備安定性と精度に対する厳しい要求を満たすことができる。高調波減速機、惑星減速機などの精密伝動機構を採用し、高解像度エンコーダを結合し、±1μm以内の繰り返し位置決め精度を実現し、半導体装置のウエハ加工、検査などの段階での正確な操作を確保する。

アスタリスク半導体業界そうごうでんどうモジュール特徴：

機械・装置の小型化、構造の簡素化を実現した。

剛性に優れた支持装置を内蔵

用途：

半導体製造設備：搬送ロボット、検査プラットフォーム

液晶製造設備：搬送ロボット、検査プラットフォーム

光産業関連装置