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六軸並列位置決め台

交渉可能更新01/29
モデル
製造者の性質
プロデューサー
製品カテゴリー
原産地
概要
6軸並列位置決めテーブル(Hexapod)は、3つの並進軸(X、Y、Z)と3つの回転軸(ΘX、ΘY、ΘZ)を有する6自由度精密位置決めを実現することができる。
製品詳細

六軸並列位置決め台(Hexapod)は、3つの並進軸(X、Y、Z)と3つの回転軸(ΘX、ΘY、ΘZ)を有する6自由度精密位置決めを実現することができる。

並列運動設計を採用しているため、六軸並列位置決め台複雑な多軸運動軌跡を実行することができ、高い繰返し精度、動的性、安定性を持つ。そのコンパクトな構造は、直列運動システムよりも高い剛性を提供します。

HEX70

六轴并联定位台

HEX 70は小型でコンパクトな6軸並列位置決め台であり、底板の直径は70 mm、重量は240グラムである。コンパクトな体積にもかかわらず、最大5 Nの荷重を受けることができ、大きな運動範囲を持つことができます。

概観
トラックステップ進行[mm] 11 (X);11(Y);6(Z)
回転ストローク[°] 18(ΘX);21(ΘY);30(ΘZ)
寸法[mm] φ 70X44
重量[g] 240
ちからとくせい
垂直最大負荷[N] 5
水平最大推力[N] 2.5
定位性能
並進位置決め分解能[nm] 5
回転位置決め解像度[µ°] 10
一方向繰り返し位置決め精度[nm] ±70
オプション
真空互換性(HV) 1E〜6 mbar
高真空兼容 (UHV) 1E-10 mbar
無磁性 必要に応じてカスタマイズ可能































*すべての技術仕様パラメータは近似値であり、製品の開発が継続しているため、予告なく技術仕様を変更する権利を保持しています。

HEX110

六轴并联定位台

HEX 110は中型式の6軸並列位置決め台で、底板の直径は110 mm、重量は450グラムである。


概観
トラックステップ進行[mm] 20 (X);20(Y);11(Z)
回転ストローク[°] 23(ΘX);26(ΘY);37(ΘZ)
寸法[mm] φ 110X47
重量[g] 450
ちからとくせい
垂直最大負荷[N] 5
水平最大推力[N] 2.5
定位性能
並進位置決め分解能[nm] 5
回転位置決め解像度[µ°] 10
一方向繰り返し位置決め精度[nm] ±70
オプション
真空互換性(HV) 1E〜6 mbar
高真空兼容 (UHV) 1E-10 mbar
無磁性 必要に応じてカスタマイズ可能































*すべての技術仕様パラメータは近似値であり、製品の開発が継続しているため、予告なく技術仕様を変更する権利を保持しています。