シグマ光機真空用自動回転テーブル

シグマ光機真空用自動回転テーブル，VSGSP-YAWシリーズは真空用の自動回転テーブルで、φ60 mmとφ120 mmの2種類の規格の標準テーブルがある。

シグマ光機真空用自動回転テーブル

φ60 mmの小型スライドテーブルで、実験や検査装置に適しています。φ120 mmの真空用テーブルにはリミットセンサが装備されている。厚みが小さく、積載能力が大きい（□42 mmの大型モータを選択した）。

情報：

>>>モータ部と限界位置センサ部には、真空チャンバのプラグヘッドに直接接続するために使用できる、ポリテトラフルオロエチレン層めっきケーブルが1 mの長さで取り付けられている。

共通指標：

■モータ/センサ技術指標

モータタイプVSGSP-60 YAW：真空用5相ステッピングモータ0.75 A／相（多摩川精機（株））

VSGSP-120 YAW：真空用5相ステッピングモータ0.75 A／相（ORIENTAL MOTOR（株））

电机型号　　　　　　　VSGSP-60YAW：TS3664N5（□24mm）

VSGSP-120YAW：PK543V-NB（□42mm）

モータステップ角0.72°

センサ出力端電気特性VSGSP-60 YAW：−

VSGSP-120YAW：接触式

センサ信号の意味VSGSP-60 YAW：−

VSGSP-120 YAW：常開

■推奨ドライブ／コントローラモデル

ドライバ

SG-5M、MC-Z0514ZU、SG-514MSC、MC-7514PCL

コントローラコントローラ

GSC-01、GSC-02、SHOT-702、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、PGC-04-U、HSC-103