上海マフラー炉科学技術単温区プラズマPECVDシステム

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モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

MFLPECVD 408-12はPECVDシステムの管式炉システムである。真空管式炉、無線周波電源、給気システム、真空システムからなる。最高温度は1200度に達することができて、30段のプログラム温度制御計器を採用して、K型熱電対、炉の胴は高純度アルミナセラミック繊維で、この設備はナノワイヤを成長させたり、CVD方法で各種の薄膜を製造したりすることができます。

製品詳細

一、製品の説明

二、製品の特徴

1、高周波電源を通じて石英真空室内のガスをイオン状態に変える。
2、PECVDは通常のCVDより化学蒸着に必要な温度が低い
3、RF電源の周波数によって堆積した薄膜の応力の大きさを制御することができる
4、PECVDは普通のCVDより化学蒸着速度が高く、均一性が良く、一致性と安定性が高い。
5、広範に応用：SiOx、SiNx、SiOxNyと非晶質シリコン（a-Si：H）などの各種薄膜の成長。

二、技術パラメータ

機種	MFLPECVD408-12型
かんしきろ	温度制御範囲	室温-1200℃
	動作温度	≤1100℃
	かねつりょういきのながさ	400ミリメートル
	せきえいかん	直径80 mm、長さ1400 mm（管径は50、60100を選択可能）
	温度制御精度	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	こうおんへんどう	±1℃（試験点1000℃）
	昇温速度	推奨1000度以下≦10℃/min、最速昇温速度≦30℃/min
	かねつそくど	700℃以上≦10℃/min
	ろけいおんど	炉体表面温度は室温+10未満（測定点1000℃）
	そくおんそし	K型熱電対
	温度制御モード	ファジィPID制御と自己調整、インテリジェント化30段プログラム可能制御、超温和断続偶数警報機能を持つ
	でんあつでんりょく	220V 3KW
ガス供給システム	ガス通路	4ウェイ
	ガス回路流量制御	プロトン流量制御器（七星流量計）
	せいぎょせいど	±1.5%F.S
	くりかえしせいど	±0.2%F.S
	りゅうりょういき	1〜500 SCCM
	機械圧力計	機械圧力計がパネルにあり、混合気灌流との接続距離：−0.1〜0.15 Mpa



しんくうシステムシナリオ1（低真空：機械ポンプ）	電源	220V
	げんかいしんくうど	5X10^-1パ
	抽気速度	2リットル/毎秒
	バキュームダンパバルブ	KF25
	モデル	VRD-8型
	モーター出力	0.4KW
しんくうシステム方案二（高真空：機械ポンプ+分子ポンプユニット）	モデル	GZK-16-600型
	電源	AC100-240 50/60HZ
	電力	1KW
	重量	25キログラム
	きょくげんあつりょく	*1.010-4パ**
	給・排気ポート	KF40
	冷水機の最大流量	10L/分
	しんくうけい	ふくごうしんくうけい
	真空せいぎょせいど	± 1%
	真空計測定範囲	1.0x10 - 1.0x10-5パ
電源（プラズマ発生器）	パワー出力範囲	0〜500W
	パワー安定度	≤±5W
	動作周波数	無線周波数：13.56MHZ±0.005%
	マッチング方式	自動
	れいきゃくほうしき	ふうれい
	ノイズ	<50dB







安全	作業環境	RT±5〜40℃
	使用保障	ドアを開けて電源を切る超温警報漏電保護過熱保護




	かんしきろ	1台
出荷明細書	しんくうシステム	一組
	ガス供給システム	一組
	むせんしゅうはでんげん	一組
	高温手袋	カーストンペア
	ストーブフック	ひとつかみ
	ガス管	1本
	設備説明書	ひとつ
	計器説明書	ひとつ
	保証書	ひとつ
選り取り品	いどうフレーム	ステンンレス鋼
選り取り品	タッチスクリーンスマートメータ	コンピュータとの接続を可能にする50セグメントプログラミング。専用のコンピュータ制御システムを通じて、単一または複数の電気炉との遠隔制御、リアルタイム追跡、履歴記録、出力報告書などの機能を完成する。

注：管径オプション：50/60/80/100/120/150/200/300 mm、

温区は双温区、三温区などの多温区を作ることができ、

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