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半導体流量制御装置

ネゴシエーション可能更新12/16
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原産地

概要

半導体流量制御器は業界内の流量センサチップに基づいて、高速サンプリング処理技術とデジタル補償アルゴリズムを結合して、開発されたよりコンパクトなガス品質流量制御器製品である。

製品詳細

  半導体流量制御装置(Mass Flow Controller)は業界内の流量センサチップに基づいて、高速サンプリング処理技術とデジタル補償アルゴリズムを結合して、開発されたよりコンパクトなガス品質流量コントローラ製品である。この製品には電磁比例弁、316 Lステンレス鋼ガス路座、高精度マイコン電気流量チップなどが装備されており、超高集積度によりこの製品は体積を半分に縮小でき、空間要求の厳しい設置場所によりよく適用できる。

製品の応用:半導体加工、分析と環境保護、燃焼制御器、真空技術、表面処理、食品と製薬、化学工業(石化)などの過程制御、ガス混合配合比

  半導体流量制御装置製品特徴:温度と圧力が敏感ではない/設計が凝集し、任意の位置/零点安定性を取り付けることができる

超高速な応答速度
良好な再現性と再現性
液晶タッチディスプレイと制御を採用
比例電磁弁を装備する