環境に配慮したマスフローコントローラ

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概要

環境保護質量流量制御器は業界内の流量センサチップに基づいて、高速サンプリング処理技術とデジタル補償アルゴリズムを結合して、開発されたよりコンパクトなガス質量流量制御器製品である。

製品詳細

　　環境に配慮したマスフローコントローラ（Mass Flow Controller）は業界内の流量センサチップに基づいて、高速サンプリング処理技術とデジタル補償アルゴリズムを結合して、開発されたインテリジェント化、高精度のガス品質流量コントローラ製品である。この製品には電磁比例弁、316 Lステンレス鋼ガス路座、高精度マイコン電気流量チップなどが搭載されており、精度が高く、応答速度が速く、安定性が良いなどの特徴がある。出力については、工業級液晶タッチディスプレイを備え、流量設定、瞬時流量、累積流量表示などの機能を備えている。出力信号は4-20 mAと1-5 Vアナログ信号、RS 485などのデジタル通信方式を選択することができる。

　　環境に配慮したマスフローコントローラ製品の応用：半導体加工、分析と環境保護、燃焼制御器、真空技術、表面処理、食品と製薬、化学工業（石化）などの過程制御。