Scios 2 DualBeam集束イオンビーム走査電子顕微鏡

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モデル

製造者の性質: プロデューサー

製品カテゴリー

原産地

オンラインコンサルト

概要

Scios 2 DualBeam集束イオンビーム走査電子顕微鏡を用いて超高分解能、高品質サンプルの調製及び3 Dキャラクタリゼーションを行った。

製品詳細

Scios 2 デュアルビーム超高分解能、高品質サンプルの製造及び3 Dキャラクタリゼーションのための集束イオンビーム走査電子顕微鏡

サーモサイエンティフィックScios 2 デュアルビーム超高分解能の分析集束イオンビーム走査電子顕微鏡（FIB-SEM）システムであり、磁性及び非導電性材料を含む各種試料に優れた試料調製と3 D特性評価性能を提供することができる。革新的な機能設計により、スループット、精度、および使いやすさが向上し、科学者とエンジニアの学術、政府、工業研究分野の高度な研究と分析のニーズを満たす理想的なソリューションです。

Scios 2 デュアルビームフォーカスイオンビーム走査電子顕微鏡主な特徴：

迅速で便利な調製

Sidewinder HTイオンカラムを用いて高品質、現場特定のTEM及び原子プローブ試料を得た。

完全なサンプル情報

さまざまな統合カラム内およびレンズ下検出器により、明瞭で正確で電荷のないコントラストが得られます。

正確なサンプルナビゲーション

高度に柔軟な110 mmステージとチャンバ内のThermo Scientific Nav-Camカメラにより、特定の用途ニーズに合わせてカスタマイズすることができます。

ソリューションの最適化

オプションの最大500 Paチャンバ圧力低真空モードを含む柔軟なDualBeam構成により、具体的な応用要件を満たすことができます。

Sidewinder HTイオンカラムを用いて高品質、現場特定のTEM及び原子プローブ試料を得た。

超高解像度イメージング

磁性及び非導電性材料を含む一般的なサンプル範囲内で性能を有するThermo Scientific NICOL電子カラムを使用した。

高品質、マルチモードサブ表面、3 D情報

オプションのAS&V 4ソフトウェアを使用して、関心のある領域を正確にターゲット化することにより、高品質、マルチモードサブ表面、および3 D情報を取得します。

アーティファクトレスイメージングと構成パターン

DCFI、ドリフト抑制、Thermo Scientific SmartScanモードなどの専用モードがあります。

仕様

ビーム分解能	最適なWD 30 keV STEMで0.7 nm 1 keVで1.4 nm 1 keV（ビーム減速）で1.2 nm
ビームパラメータ空間	電子ビーム電流範囲：1 pA〜400 nA 着陸エネルギー範囲：20*eV-30 keV 加速電圧範囲：200 V-30 kV 最大水平射野幅：7 mm WDで3.0 mm、60 mm WDで7.0 mm 標準のナビゲーションクリップを使用して、超ワイドな視野を提供することができます（1×）
イオン光学系	加速電圧：500 V-30 kV ビーム電流範囲：1.5 pA-65 nA 15位置絞りバードリフト抑制モードは、非導電性サンプルの標準モードである最小イオン源寿命：1000時間イオンビーム分解能：角選択方法で30 kVで3.0 nm
検出器	Trinity検出システム（鏡筒内とカラム内） T 1セグメント式下鏡筒内検出器 T 2上鏡筒内検出器 T 3伸縮性カラム内検出器（オプション）最大4つの同時検出信号 Everhart-Thornley SE検出器（ETD）二次イオン（SI）及び二次電子（SE）のための高性能イオン変換及び電子検出器（ICE）（オプション）伸縮性、低電圧、高コントラスト、セグメント化、固体逆散乱電子検出器（DBS）（オプション） BF/DF/HAADFセグメント付き伸縮性STEM 3+検出器（オプション）サンプルとチャンバのIRカメラを見るチャンバ内Nav-Camサンプルナビゲーションカメラ（オプション）集積ビーム電流測定
ステージとサンプル	柔軟な5軸電動プラットフォーム： XY範囲：110 mm Z範囲：65 mm 回転：360°（無限）傾斜範囲：-15°〜+90° XY繰り返し性：3μm 最大サンプル高さ：共心点との間隔85 mm 0°傾斜時の最大サンプル重量：5 kg（サンプルラック含む）最大サンプルサイズ：回転時110 mm（より大きなサンプルでも良いが、回転には限りがある）中心回転と傾斜の計算

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