三豊粗さ計SJ-210部品駆動本体接続線

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三豊粗さ計SJ-210部品駆動本体接続線

従来の表面粗さ測定器の動作原理
1.1機器の動作原理
針描法の原理を用いた表面粗さ測定器はセンサ、ドライバ、ゼロゲージ、レコーダ、テーブルなどの主要な部品で構成されている。
インダクタンスセンサは輪郭計の主要な部品の一つであり、その動作原理は図2を参照して、センサロッドの一端にダイヤモンド触針が取り付けられ、触針の曲率半径rは非常に小さく、測定時に触針をワークに掛け、被測定表面に垂直に接触し、ドライバを用いて一定の速度でセンサをドラッグする。被測定面輪郭の谷が起伏しているため、触状は被測定面を滑ると上下に移動する。この動きは、支点を介してコアを同期させて上下に動かすことにより、コアの外側を囲む2つの差動インダクタンスコイルのインダクタンス量を変化させる。
センサのコイルと測定回路は平衡ブリッジに直接接続されており、コイルインダクタンス量の変化によりブリッジは平衡を失ったので、触針の上下の変位量に比例する信号を出力し、電子装置を通じてこの微弱電力量の変化を増幅し、感知検波した後、触針の変位量の大きさと方向を表す信号を得た。その後、信号を3つの経路に分けた：指零表に1つ加えて、触針の位置を表し、1つは直流電力増幅器に出力し、増幅後にレコーダを押して記録する、別のパスフィルタリングと平均表増幅器で増幅した後、積分計算器に入り、積分計算を行うと、指示表から直接表面粗さRa値を読み出すことができる。
ゼロゲージの役割は、差動インダクタンスコイルにおけるコアの位置を反映する。鉄心が差動インダクタンスコイルの中間位置にある場合、ゼロゲージポインタはゼロ位置を示し、すなわちインダクタンス変化の線形範囲内にあることを保証する。したがって、測定する前に、ゼロ位置になるようにゼロゲージを調整する必要があります。ノイズフィルタリングの目的は、電気素子のノイズによる偽りの信号など、いくつかの干渉信号を除去することである。大量のテストにより、400 Hzを超える信号は測定表面粗さによる信号ではなく、総信号から除去しなければならないことが明らかになった。したがって、ノイズフィルタは、400 Hz以下の低周波信号をスムーズに通過させ、400 Hz以上の高周波信号を急速に減衰させてフィルタリングの目的を達成する低域（低周波エネルギー通過）フィルタである。波度フィルタリングの目的は、サンプリング長よりも長い距離の波度をフィルタリングするために使用されるので、表面粗さによる高周波（波度による低周波に対して）信号を自由に通過させる高域（高周波エネルギー通過）フィルタです。
ノイズフィルタリングと波度フィルタリングを経て、残ったのは被測定表面の粗さに比例する信号で、更に平均表増幅器を経た後、出力された電流Iは被測定表面の輪郭の各点が中線からずれた高さyの値に比例し、それから積分器の完成した積算を経て、Ra値を得て、ゼロ指表によって表示される。
この器具は0.02-10μmのRa値を測定するのに適しており、その中には少数の型番の器具がさらに小さいパラメータ値を測定することができ、器具には平面、内外円柱面、円錐面、球面、曲面、および小孔、溝などの形状のワーク表面測定に適応するための各種付属品が備わっている。測定は迅速で便利で、測定精度が高い。

1.2ニードル描画法
針描画法は触針法とも呼ばれる。触針がワークの被測定面に直接的に軽く引くと、被測定面の輪郭の谷が起伏するため、触針は被測定輪郭の表面に垂直な方向に上下に移動し、この移動を電子装置を通じて信号を増幅し、その後、粗さに関するデータまたは図形をゼロテーブルまたは他の出力装置を通じて出力する。

2従来の表面粗さ測定器の不足
従来の表面粗さ測定器には、以下のようないくつかの点で不足があった：
（1）測定結果の出力が直感的ではない。

（2）測定パラメータが少なく、一般的にRa、Rz、Ryなどの少量のパラメータしか測定できない、

（3）測定方式は柔軟ではなく、例えば：評価長さの選択、フィルタの選択など、

（4）測定精度が低く、測定範囲が小さく、Ra値の範囲は一般的に0.02-10μm程度である、