SEC-Z 500 Xマルチレンジ/マルチガスデジタルマスフローコントローラ

• 高精度±1.0%設定点
  この質量流量制御器の線形度は多項式近似曲線によって補償され、流量制御範囲内での高精度を実現する。実際のガス精度を高めるために、異なるプロセスガスの標定データはHORIBA STEC社の標準ガス測定システムによって測定された。
• 高速応答
  「可変PIDシステム」を組み立てると、任意の2つのセットポイント間で1秒応答を実現することができる。可変PIDは流量点の設定に応じて絶えず変化する。フルレンジ流量とガスが変化した場合にPID係数を最適化する。
• マルチガス/マルチレンジソリューション
  構成ソフトウェアは、すばやく簡単に仕様を変更できます。重要な特徴の1つは、ガスコントロールパネルや配管からマスフローコントローラを取り外すことなく変更できることです。必要なスタンバイマスフローコントローラの数を減らし、時間とコストを節約します。

SEC−Z 500 Xマスフローコントローラは、様々な用途や半導体製造に適している。