HORIBASTEC-Z 512 MGXデジタルマスフローコントローラ

サマリー
質量流量計は半導体製造装置において非常に重要な部品である。その仕事が安定しているかどうかは、半導体プロセスの成否の鍵となることが多い。
HORIBA STEC,世界規模で35%*1を超えるシェアを誇る流量計メーカーとして、半導体産業に高品質で多機能な製品を提供し続けてきました。現在、新しいテクノロジーを手にして、HORIBA STECは新しい質量流量コントローラ：Z 500シリーズを世界に展開しています。
従来のモデルに比べて、Z 500 Xシリーズは新たなブレークスルーを実現し、流量制御技術の将来を変える運命にある。顧客が必要とする流量制御のすべての機能を提供すると同時に、複合ガス、複合流量の変換を実現した。お客様はプロセスの必要に応じて、流量計ガスの種類とプロセス*2を簡単に変更することができます。
また、製品材料の技術革新により、Z 500シリーズはRoHSグリーン製品の設計要求を全面的に満たし、顧客のために製品価値を向上させた。
高性能なZ 500シリーズ流量計は、さらなる驚きをもたらします。半導体産業全体を変える新しい質量流量計の誕生を世界が目撃している。
*1 VLSI's 2007研究報告書を参照。
*2複合ガス、複合流量機能。
特徴
高精度：流量値±1.0%を設定.
MFCの線形精度は多項式近似曲線によって補償する、この技術は各制御範囲内で高い制御精度を確保する.さまざまな実際のガス種の制御精度を改善するために、HORIBA STECは標準的なガス測定システムを開発し、大量の実験に基づいて、さまざまなプロセスガスの校正データを収集した。
高速応答
SEC-Z 500 Xは最新開発の「変更可能PID」システムを使用し、任意の2つの設定流量点間の変更が1秒以内に異なる流量を設定すると、PIDデータが自動的に調整され、ガスの種類と流量範囲が変更された後もPIDデータが自動的に最適化され、高速応答を実現することを保証している。
複合ガス、複合流量方案
HORIBA STEC新製品により、お客様が現場でガスの種類や流量を簡単に変更できるようになりました。私たちのZ 500セットアップソフトウェアは簡単で使いやすいです。より良いことに、これらの変更は、MFCをシステムから取り外す必要さえありません。これにより、お客様の備品の数を大幅に削減することができ、時間とコストを節約することができます。
製品相関図及びその他