SC 7620小型イオンスパッタリングコーティング装置

　SC7620イオンスパッタリングコーティング装置

SC7620コンパクトで経済的な構造の走査型電子顕微鏡イオンスパッタリング装置である。例えばオプションの炭素めっき付属品(SC7620CF)組み合わせて使用し、理想的な走査電子顕微鏡用金噴霧炭素システムである。SC7620耐久性と操作性。

SC7620直径を持つ100㎜(4″)のガラスチャンバを使用し、マグネトロンスパッタリングヘッド及び交換しやすいウエハターゲットを使用している。スパッタヘッドは操作しやすいヒンジ式であり、電気安全インターロック装置を備えている。高圧ケーブルには、予期せぬ損傷を防ぐためのシールド機能があります。プラズマ電流を変化させるためにアルゴンニードルバルブにより真空度を調整した。

SC7620グロー放電（親水化）動作モードを有する。空気グロー放電処理後、炭素膜は親水性と負に帯電するため、収集することができるTEM断面をスライスし、水懸濁液の拡散を容易にします。メモ：専用の全自動グロー放電ソリューションについては、「GloQube Plus。

機器の特徴：

•操作しやすい

•マグネトロンイオンスパッタリングヘッド

•卓上型、コンパクト設計

•高速サイクル時間

•オプションのカーボンワイヤ蒸着

•サンプルテーブル高さ調整可能

•ラピッドターゲットチェンジ/パラジウム合金ターゲット）

•すべての新しい安全基準に適合：炭素めっきアタッチメントの使用時にスパッタヘッドの電源が切れることを確保するための電気機械的インターロックを含む

•信頼性と耐久性

推奨アプリケーション：

•タングステンフィラメント走査電子顕微鏡試料の製造によく用いられる通常の試料スパッタリング金

•他の貴金属と比較すると、銀めっき層は取り外しやすく、博物館や裁判所のサンプルめっきに適している

•オプションの炭素注入アタッチメント、EDS/WDS解析

•グロー放電による親水化処理

の場合SEM使用されている全自動バージョンの金噴霧炭素計については、「Q150R Plusを選択して設定できます。FE-SEM必要な超微粒子コーティングを適用するには、高真空コーティング装置を使用することをお勧めします。Q150T Plus、Q150V PlusまたはQ150GB、チャンババージョンのコーティングシステムが必要な場合は、次を参照してください。Q300T T Plus、Q300T D Plus、Q300T ES PlusとK975X/K975S。