米PIE EM-KLEENリモートプラズマ清浄機

リモートプラズマ清浄機

使用＃シヨウ＃SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVLおよび他の高真空システムの遠隔プラズマ洗浄器。遠隔プラズマ源は洗浄されるべき真空チャンバに設置され、コントローラは遠隔イオン源に無線周波数エネルギーを提供する必要がある。無線周波数電磁場はプラズマを励起し、入力ガスを分解して酸素や水素を発生させる活性基であり、活性基は下流の真空チャンバに拡散し、その中の汚染物と化学反応し、反応生成物は容易に吸引される。遠隔プラズマ洗浄器は真空システムとサンプルを同時に洗浄できる！

リモートプラズマ清浄機シリーズには3つのモデルがあります。

1）EM-KLEEN 1つインテリジェントデザイン、機能強力なダウンストリーム式プラズマクリーナ。

2）SEMI-KLEEN quartz半導体業界の厳しいクリーン化要件を満たすために設計されている

のソリューション。

3）SEMI-KLEEN sapphire半導体業界における汚れ除去クリーニングに使用され、耐

腐食性ガスプラズマを使用します。

機器の特徴：

• 汚れたSEMサンプル。2-60秒水素プラズマ洗浄ALDサンプル。

ターボ分子ポンプを減速または停止する必要はない

• 低プラズマバイアス設計はイオンスパッタリングと粒子生成を低減する。自己特許を組み合わせた多段

ガスろ過技術、SEMI-KLEENユーザーの最も過酷な粒子状汚染除去要件を満たすことができる

• サファイア管空洞と耐食性ガスの流量制御器を選択可能で、サポートCF4, NF3, NH3, HF, H2Sその他の用途

• 特有のプラズマ強度センサーはリアルタイムでプラズマ状態を監視でき、ユーザーはプラズマ状態を一目で見ることができる

• 圧力センシングフィードバック制御に基づく自動電子流量制御器で、手動で針弁を調整する必要はない

• 直感的なタッチスクリーン操作、定義可能60バー洗浄プログラム案

• インテリジェントセキュリティ動作モードとエキスパート制御モードを持ち、SmartSchedule^TM試料積載回数または時間間隔を検出することによりタイミングクリーニングシステム

• 低電磁干渉設計、静かなスタンバイモード

推奨アプリケーション：

• FE-SEM、FIBとTEMのその場サンプルクリーニング

•半導体デバイス、例えばCD-SEM, EBR, EBI, EUVLなど

•高真空チャンバを洗浄し、炭化水素とフッ素炭素汚染物を除去する

•超高真空を低減(EHV)および超高真空(UHV)ポンプの停止時間

•適用XPS、SIMS、AES原子プローブのチャンバおよびサンプルクリーニング

•適用ALD及び他の半導体加工装置のチャンバ及びサンプルクリーニング

PIE Scientific開発されたSmartClean™ 技術は核研究を結合した

半導体業界で最も先進的なプラズマ放電技術である。EM-KLEEN

とSEMI-KLEENプラズマ清浄機は前世代プラズマ清浄機より

ずっと進んでいる。我々のプラズマ洗浄器はあらゆる技術指標において

より優れている、また、多くのユニークな機能は私たちの機器だけにあります。

製品にしかありません。

他のシリーズも提供していますサンプルクリーニング、サンプルバークリーニング及び保管など

用の計器，必要に応じて、参照してくださいTergeoシリーズ、

Multipurpose ChamberとTEM holder storage。