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アドレス
北京市海淀区中関村北二条13号中科儀ビル2号棟4階
製品分類
北京中科儀光電科技有限公司
概要
SBC-16は構造がコンパクトな卓上型めっきシステムであり、特に走査電子顕微鏡イメージングにおける非導電性サンプルの高品質めっきに適している。
製品詳細
主な特徴
1、高効率低圧直流マグネトロンヘッドによる冷態微細な溶射過程を行い、サンプル表面を避ける損傷を受ける。
2、操作が容易で迅速で、 制御パラメータには、ガス抜きとアルゴンガス換気制御。
3、デジタル化された溶射電流制御はサンプル室内の気圧の影響を受けず、均一なめっき速度と最適なめっき効果を得ることができる。
4、複数の金属ターゲットを使用することができます：金，Au/Pd，，Pt，，Pt/パラジウム（金 ターゲットは標準）， ターゲットの交換が迅速で便利です。
技術パラメータ
スパッタシステム | |
ターゲット材 |
金ターゲットは標準で、オプション はっきん、直径 57 mmx 0.1 mm厚い |
ひょうじゅんしりょうだい |
マウント可能 12 個 走査電子顕微鏡 サンプルシート、高さ調整可能範囲ために 60mm |
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回転傾斜サンプルテーブル（オプション） |
回転速度： 0~60rpm連続調整可能、傾斜角度： -90 °~ 90°連続調整可能、 ステンレスキャビティ：直径 120ミリX 高い 75 mm； 観測窓かんそくまど:直径ちょつけい 120ミリX 高い 45 mm； 標準配置回転テーブル直径 40mm、配置可能 4 個の標準サンプル台、 その他の仕様は注文可能 する 二重ロック装置を備える、 回転傾斜時にサンプルがガタガタしないようにすることができる 落。 |
スパッタ電流 |
マイクロプロセッサ制御、 セキュリティインターロック、調整可能、電流 5~30mA.、プログラム化デジタル制御 |
ゲージ台 |
真空： 現金自動預け払い機 - 1*10-3 ミリバール、電流： 0~99mA |
制御方法 |
がつく 「開始」「一時停止」ボタンのマイクロプロセシングコントローラ（1－999秒），自動抽気、スパッタ 発射、シャットダウン後に自動的に空気を放出する。 |
しんくうシステム | |
抽気速度 |
133リットル/分 |
げんかいしんくう |
10-4 ミリバール級 |
ノイズ |
56dB |
