環境除塵粒子リアルタイムモニタ（PFS）

ファストマイクロ 環境除塵粒子リアルタイムモニタ（PFS）

ファストマイクロ環境除塵粒子リアルタイムモニタ（PFS）、クリーンルーム粒子の堆積速度測定のために開発され、秒間隔のデータ収集をサポートし、0.5 um以上の粒子を正確に測定する。直感的で使いやすいソフトウェアシステムを結合し、顧客が単純空気モニタリングから表面清浄度モニタリングへの飛躍的なアップグレードを実現するのを助け、プロセスプロセスの最適化と清浄度の持続的な改善に科学的根拠を提供する。

製品特徴：

• データ出力と可視化：ISO 14644-17準拠

• 高フラックス検出：0.5 umまで低い粒子を検出できる

• 高速：2インチ面積検出を10秒で完了

• 定量：生産と研究開発環境の検証と監視に適用する

製造時の一貫性測定

高速：秒レベル連続監視

定量：生産と研究開発環境の検証と監視に適している

操作性：オペレータの簡単なトレーニングで使用可能

正確：高解像度測定（数量、タイムライン、位置、寸法）

一貫性： 反復可能な客観的測定結果

高スループット：オンサイトリアルタイム解析

粒子堆積速度の監視（DPRL）

Fastmicro環境塵埃除去粒子リアルタイムモニタ（PFS）はコンパクトな加工を採用業設計、ISO 14644-9とISO 14644-17規格に基づいて、粒を監視測定する粒子堆積速度（DPRL）。この装置により、プロセス/品質エンジニアがリアルタイムでクリーンルーム環境における重要領域の粒子沈降状況を監視する。

重要な領域での継続的なモニタリングの実現

従来の空気懸濁粒子のみを監視するのとは異なり、このシステムは重要な表面の粒子汚染制御と清浄度検証を継続的に監視した。サブミクロン級粒子は常に空気中に懸濁しているわけではなく、オフに堆積している可能性がありますキー表面は、技術的な清浄度と製品品質に影響を与える。

この装置は2インチウエハを用いて環境中の落塵粒子を採取し、ウエハ表面の粒子に対して10秒程度間隔で連続粒子沈降モニタリングを行った。その測定粒径寸法は≧0.5（NIST認証による）であり、正確に定量化される沈降速度ソフトウェアインタフェースは簡単で直感的で、ワンタッチでレポートを生成できます。

ファストマイクロ PFS高精度で粒子をその場で検出する機器であり、エンジニアがクリーンプロセス制御への挑戦。

Phenom XL走査電子顕微鏡を組み合わせて、粒子状物質の成分特性評価と遡及分析を簡便かつ効率的にさらに行う。