フェムトナノ卓上走査電子顕微鏡-自動品質制御ソリューション

品質管理と研究開発のために作られた自動デスクトップ走査型電子顕微鏡

フェノム XL G3フェムトナノ卓上走査電子顕微鏡-自動品質制御ソリューションThermo Scientific傘下の旗艦級デスクトップ走査電子顕微鏡プラットフォームであり、フィリップス-FEI-サイマー飛の80年近くの電子顕微鏡技術の蓄積に基づいて構築された。その安定性、信頼性、容易な導入、自動化の程度が高く、専用生産品質管理、高スループット検査と研究開発シーンそしてデザイン。

• 36個のサンプルを収容できる大倉室設計

• 1分で完成組立から出荷まで

• 自動化、AI分析、スペクトル一体化

• 3000 h CeB 6フィラメント、平均5年に1回交換

金属、電子セラミックス、半導体、粉末、ろ過膜、電池材料などの多業種に適している。

⭐コアメリット（強変換モジュール）

01｜80年電子顕微鏡技術伝承、全（quan）ボール5000台超搭載機

フィリップスの電子顕微鏡部門からFEI、そしてThermo Scientificに至るまで、Phenomシリーズはリーダー（ling）の電子顕微鏡設計と製造基準を代表している。

• 1939年：Le Pooleが電子顕微鏡構想を提案

• 1944年：150 kV電子顕微鏡の登場

• 1972年：1台目フィリップスSEM

• 2006年：初（shou）デスクトップSEM――Phenom誕生

• 今まで：デスクトップCeB 6/デスクトップ電界放出/業界専用電子顕微鏡マルチライン製品マトリックスの形成

02｜実験室を改造する必要はない：自由に使って、安心してお金を節約する

• 内蔵ダンパーシステム

• 環境への要求が低く、暗室を使わず、水冷を使わない

• 生産現場、QC実験室、高層オフィスエリアに適用

• 車載、野外現場での使用にも対応

アイスランドの火口、スペインの無人島などの地質科学試験任務に参加し、そのjiduan環境の信頼性を検証したことがある。

03｜CeB 6フィラメント：3000時間寿命、5年交換

• 高輝度六ホウ化セリウム（CeB 6）フィラメント

• 平均5年に1回交換、7×24時間連続運転でストレスフリー

• メンテナンスコストが極めて低く、生産ラインと長期実験使用に適している

一般的な金属フィラメントの寿命より50〜200時間多く、性価比の優位性が明らかである。

04｜低電圧イメージング：金を噴かなくても鮮明

Phenom XL G 3は新しい真空構造＋アップグレード後方散乱検出器（BSD）を採用：

• 低電圧（2～5 kV）での信号対雑音比が高い

• 非導電性および感受性サンプルに金を噴霧する必要はない

• 自動化プロセスによるイメージング効率の向上約30%

適用サンプル：繊維、紙、コーティング、ポリマー、電子セラミックス、CMOS、太陽電池など。

太陽電池ピラミッド構造

倍率：10000 X

2kV，未噴金、二次電子像

ピラミッド構造と詳細がはっきり見える

エレクトロニックセラミックス

倍率：1000 X

5kV，後方散乱電子像

セラミック内の結晶粒の大きさや空隙が観測できる

CMOS検出器

倍率：5000 X

2kV，にじでんしぞう

画素セルとその表面汚染物がはっきり見える

走査電子顕微鏡下の金を噴霧していない繊維（上図）、金を噴霧していない紙（下図）

05｜工業4.0自動化プラットフォーム：AI&Pythonスクリプトをサポート

1分前のサンプルから出図まで

検出フラックスは従来の電子顕微鏡よりも上昇した5～10倍。

自動分析ソフトウェア

• ParticleMetric：粒子統計

• FiberMetric：繊維寸法解析

• 標準レポートを一括出力し、真の量子化品質制御を実現する

  

  「見る」から「計算する」まで：専門の自動化分析ソフトウェア、ParticleMetric（粒子統計）、Fiber-Metric（繊維統計）などの専用ソフトウェア。自動化完了には人手で数時間かかる粒度、形態、寸法分布などの統計作業を行い、標準化報告書を出力し、真の量子化品制御を実現する。

  
  

オープンプログラミングインターフェース（PPI）

• Pythonスクリプトのサポート

• ドッキング可能ライン、LIMSシステム

• 夜間無人大量検査をサポートする

• 

  「深さ統合、必要に応じて変化」：オープンな自動化インタフェース、Pythonスクリプト制御（PPI）を提供し、顧客の既存の自動化ラインとLIMSシステムにシームレスに統合できる。精密な自動化モーター台、ソフトウェアスクリプトを結合し、一度に36個のサンプルを収容でき、「無人の品質検査工場」を作り、設定プログラムをカスタマイズし、夜間や休憩時間に大量のサンプルを自動撮影と分析し、設備の利用率を高める。

大サンプルパノラマパズル（MAPS）

1枚の図で全貌を見て、多点分析に漏れがない

ウエハ、濾過膜、金属断面などの大サンプルにおいて、自動的にパノラマハイビジョン図を取得し、そして予め設定されたキーポイントに対して高倍率分析を行い、検査の全面を確保する。

06｜エネルギースペクトル一体化設計：ソフトウェア一式の作成像＋元素分析

ソフトウェアを切り替える必要はなく、データを失わず、トレーニングしやすく、アフターサービスが統一されています。

ChemiSEMリアルタイムカラーイメージング

• イメージングとエネルギースペクトルの同期収集

• リアルタイムカラー要素分布表示

• 金属、セラミックス、電池、コーティング、半導体などの材料に適している

  

  ChemiSEMカラーイメージング技術

ChemiPhase物相解析

• 自動認識物相

• 出力相組成及び面積分数

• 電池の正極、セラミックス、冶金などの複雑な材料に特に友好的である

  

  ChemiPhase物相分析ソフトウェア

Phase Mapping相分布図

• ピクセルレベルに基づく定量要素解析

• 複数の材料相を自動的に識別する

  

  Phenom MAPS大面積画像スプライス

仕様パラメータ

イメージングモード

• 光学顕微鏡：3–16×

• 電子顕微鏡：200000×

照明システム

• CeB 6鏡筒フィラメント

• 加速電圧：2/5/10/15/20 kV（連続調整可能）

• 真空：低-中-高モード

性能

• 分解能：8 nmより優れている

• 真空引き時間：30秒

ステージ

• 大倉室、大サイズサンプルに対応可能

• 最大36検体自動検査

適用業界

• 金属材料分析/冶金品質検査

• 電池と材料の開発

• 電子セラミックス/半導体/デバイス

• 粉末材料スクリーニング

• ろ過膜粒子状物質、繊維統計

• 表面研究、コーティング分析

• 大学と科学研究機関

なぜPhenom XL G 3を選んだの？

• 国際ブランド技術伝承（フィリップス→FEI→サイマーフライ）

• 真の工業用4.0レベル自動デスクトップ電子顕微鏡

• AI、Python、無人検査をサポートする

• フルエネルギースペクトル+イメージング統合ソリューション

• 大サンプル、大スループット品質制御

• 平均5年間フィラメント交換、使用コストは極めて低い