参照分光エリプソメータ薄膜と表面の高速検出

アクリオン RSEスペクトル型パラメトリックエリプソメータ

質量制御における高速厚さmapping用に設計されたスペクトル型参照偏光解析器（RSE）。0.1 nmから10&microを正確に測定することができます。mの厚さである。毎秒200個の完全なスペクトルを記録し、12分以内に100 mmx 100 mmの領域を研究し、同時に67,000個のスペクトルを得ることができる。

RSEは特別なタイプの偏光解析器であり、基準サンプルと測定サンプルを比較し、それらの違いを測定することによって測定サンプルに偏光解析を行う。測定中に回転または変調を必要とする光学部品は何もなく、単一測定で完全で高分解能のスペクトル偏光解析データを得ることができる。通常、毎秒200個のスペクトル偏光解析データを収集することができる。同期したX/Y二次元自動試料台を搭載することで、数分以内に測定することができ、大面積試料の膜厚分布図を得ることができる。基準補償システムは依然として偏光解析原理であるため、屈折率やフィルム厚などの光学パラメータを得るために、測定データを光学モデルにフィッティングする必要がある。高速なデータ処理速度を実現するために、ルックアップテーブルフィッティングを実現した。測定する前に、ルックアップテーブルが計算されます。そして、リアルタイムかつ高解像度に測定データをフィッティングすることができる。

主な機能：

• 「単一」参照スペクトル偏光解析測定

• 毎秒200個の全スペクトル偏光解析データ

• 膜厚評価のためのリアルタイムデータ処理

• スポットサイズ：50 x 100 um（入射角＝60°）の微小スポット

• フィルム厚さ測定範囲：<1 nm ~ 10 um

• スペクトル範囲：450～900 nm

適用：

• ウェハ検出

• 汚染物質検出

• 超薄膜と中間層の厚さ

• 透明基板上の薄い層

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