RTP急速焼鈍炉

ネゴシエーション可能更新05/06

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概要

RTP急速焼鈍炉はすでに半導体、強誘電体及びめっき業界の重要な焼鈍技術となっている。しかし、現在では、大型で高価な生産設備だけが高速熱処理を完了することができ、これにより研究開発作業の効率（特に小さなサンプル）が大幅に低下している。市場のニーズに応えるため、ADVANCE RIKOはMILA-5000シリーズの小型急速焼鈍炉を開発した。MILAは、必要に応じて対応するポンプとガスインターフェースを選択し、大型RTP装置と同じ熱処理性能を提供することができる。

製品詳細

RTP急速焼鈍炉特徴：

急速加熱及び冷却能力、

任意の雰囲気で使用できます。

正確な温度制御、

RTP急速焼鈍炉技術パラメータ：

モデル	MILA-5000シリーズ
温度範囲：
zui大加熱電力：	50℃/s（50 ~ 1200℃）真空 45℃/s（50 ~ 1200℃）窒素雰囲気
温度均一性：	±2.0℃（ΔT＝4℃）1200℃真空 ±4.5℃（ΔT＝9℃）1200℃窒素雰囲気
加熱雰囲気：	大気、真空、不活性雰囲気下
試料サイズ：	最大：50平方またはφ50 x T 5（mm）
プログラムモジュール：	温度VS時間設定、Step数256、Program数32（zui大）、 PID+Fuzzy制御、自動微調整、USB通信、自動/手動切り替え、

カイゴナス計器商業貿易（上海）有限公司はスウェーデンHot Disk有限公司の出資により設立された、気鋭の計器商業貿易会社であり、市場で良好な名声を得ている。同社は設立以来20年近く、スウェーデンのHot Diskブランド熱定数分析器の開発、製造、販売を主な事業として、熱物性設備のシステムサプライヤーになることに力を入れてきた。

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