ROHS金属成分分析計

　　ROHS金属成分分析計（SXES：Soft X-Ray Emission Spectrometer）新たに開発した回折格子と高感度X線CCDカメラを組み合わせることで、高いエネルギー分解能を実現した。

EDSと同様に並列検出が可能であり、WDSのエネルギー分解能を上回る0.3 eV（FermiエッジにおけるAl−L基準）の高エネルギー分解能で分析することができる。

　　ROHS金属成分分析計システム概要：最新開発設計の分光システムで、回折格子や検出器（CCD）を移動することなく異なるエネルギーのスペクトルを同時に取得することができます。またエネルギー分解能が高いため、状態解析分布図を収集することもできる

SXES、WDS、EDSの比較各種分光法における窒化チタン試料のスペクトル図

WDS分析でも窒化チタンのスペクトルピークが重なり、デコンボリューションの数学的方法で処理する必要がある。次の図に示すように、SXESは高いエネルギー分解能を持っています。

　　ひかくひょう

特徴	SXES	EPMA（WDS）	EDS
解像度	0.3 eV （フェルミ側Al-L）	8 eV （FWHM@Fe-K）	120〜130 eV (FWHM@Mn-K）
かがくけつごうじょうたいかいせき	いい	できます（主に軽い要素）	いけません
並列検出	いい	いけません （分光計台数範囲であればよい）	いい
分光結晶と検出器	回折格子＋CCD	分光結晶＋比例計数管	SDD
検出器冷却	ペルチェ冷却	必要ありません	ペルチェ冷却
検出限界（Bを基準値とする）	20ppm	100ppm	5000ppm

リチウムイオン二次電池（LIB）分析例

LIBの充電量が観察できる

　　満充電後のLi−K試料のスペクトル

説明：理論上の理由により、酸化リチウムの検出は困難である

ライト要素のテスト例

SXESによる炭素化合物の試験例

ダイヤモンド、黒鉛、ポリマーの違いをテストすることができます。

各種窒素化合物の試験例窒素も波形に基づいて化学結合状態を分析することができる。硝酸塩と窒化物は波形が異なり、電子ビームによる損傷を受けやすいアンモニウム塩の波形も観察される。