日本電子JEOL断面研磨装置

交渉可能更新01/30

オンラインコンサルト

概要

日本電子JEOL断面研磨装置のサンプリング設備は市場の多様化する需要を満たすため、IB-5300 CP断面研磨装置は多目的サンプル台を採用し、各種機能性サンプルホルダーを交換することにより機能の多様化を実現した。

製品詳細

日本電子JEOL断面研磨装置市場の多様化するニーズに応えるため、多目的サンプルテーブルを採用し、各種機能性サンプルホルダーを交換することで機能の多様化を実現した。

　　断面研磨器必要に応じて異なる機能性サンプルホルダーを選択することができ、断面エッチングだけでなく、平面エッチング、イオンビームスパッタリングめっき膜などを行うことができる。

◇高スループット高速イオン源の搭載と自動加工開始機能の利用により、加工開始まで時間をかけずに短時間でエッチングできる。

◇自動加工プログラム高速加工と仕上げ仕上げ仕上げ加工はプログラム化でき、短時間で高品質の断面を製造することができる。また、間欠加工モードを利用して、加工温度を抑制することもできる。

◇設置が簡単な機能性サンプルホルダーはモジュール化された設計を採用し、光学顕微鏡（別売）下でも加工位置を調整することができる。

◇多目的サンプルテーブル各種機能性サンプルホルダーを選択することにより、断面エッチングだけでなく、平面エッチング、イオンビームスパッタリングめっきなどを行うことができる。

◇高耐久性遮光板の耐久性は旧機種の3倍程度で、高レート加工や長時間エッチングに対応しています。

主な技術指標

イオン加速電圧	2～8kV
エッチングレート	500μm/h
支持サンプルの最大サイズ	11 mm（幅）×10 mm（長さ）×2 mm（厚さ）
サンプル揺動機能	エッチング中、試料が自動的に±30°（4557130号）揺動する
自動加工開始モード	設定した圧力値に達すると自動的に加工を開始することができます。
バッチ加工モード	パルス制御イオンビーム流照射は、加工時に発生する熱を抑制することができる。
仕上げ仕上げ仕上げモード	主加工が終了すると、自動的に仕上げ仕上げ仕上げが開始されます。

類似製品推奨