プラズマ洗浄機械ウエハ活性化脱膠装置

プラズマ洗浄機はウェハレベルパッケージ前面前処理、ウェハレベル結合前面活性化、フォトレジストコーティング前面活性化、ウェハ表面の小さなparticle除去、表面有機残留除去などに応用される

プラズマ洗浄器、表面処理機の活性化設備は表面張力を増加することができて、精密に清潔して、静電気を除去して、表面などの機能を活性化して、ウエハ結合ゴムレジストを除去する

ウエハプラズマ洗浄機シリコンウェハプラズマ表面処理装置ウエハplasma表面洗浄器は、まずフォトリソグラフィによりレジストをフォトリソグラフィ露光処理し、その後、別の方法によりエッチング処理を行い、除去する必要がある部分を除去する。

プラズマ洗浄機は、さまざまな幾何形状、表面粗さが異なる金属、セラミックス、ガラス、シリコンシート、プラスチックなどの物品の表面を超洗浄し、改質し、サンプル表面の有機染料を**的に除去する。

プラズマ洗浄機械ウエハ活性化脱膠装置清潔、活性化脱膠、エッチング効果を実現する。

プラズマ洗浄機械ウエハ活性化脱膠装置高密度2.45 GHZマイクロ波プラズマ処理装置を用いて集積回路、半導体生産中のウエハのクリーニング脱膠、シリコンウエハによる汚染物と酸化物の除去、接着率の向上に使用し、マイクロ波プラズマ洗浄、脱膠機は微孔、スリットなどの細かい空間を処理することができ、高度な活性、効率が高く、電子装置にイオン損害を与えることはない。プロセス検証により、マイクロ波プラズマ洗浄機は接触角度を下げ、リード線結合強度を高めた。

プラズマ洗浄機ウエハ活性化脱膠装置の応用には、前処理、アッシング/フォトレジスト/ポリマーはく離、チップ衝突、静電除去、誘電体エッチング、有機汚染除去、チップ減圧などが含まれる。

半導体パッケージプロセスにおけるマイクロ波プラズマ洗浄機の使用：

1.カプセル化階層化の防止

2・溶接線の品質向上

3.結合強度を高める

4.信頼性の向上、特にマルチインタフェースの高度なパッケージ

なぜ私たちのプラズマ洗浄機を選んだのですか。

20年以上にわたり各種規格のプラズマ洗浄機の研究開発、製造、生産に専念し、協力企業は半導体、電子、光電、紡績、プラスチック、自動車、プラスチック、生物、医療、印刷、家電、日用品及び環境保護など多くの業界をカバーし、300+顧客にサービスを提供してきた

無料コンサルティング解説、無料サンプルテスト処理、無料オンサイトトレーニングインストールデバッグ

異なる顧客ニーズに応じて一対の一定化設備ソリューションを提供することができ、工場への視察を歓迎する